③ Örtüyün yüksək keyfiyyəti İon bombardmanı membranın sıxlığını artıra, membranın təşkilati strukturunu yaxşılaşdıra, membran təbəqəsinin vahidliyini yaxşılaşdıra, sıx örtük təşkilini təmin edə, daha az dəlik və qabarcıq yarada və beləliklə membran təbəqəsinin keyfiyyətini artıra bilər.
④Yüksək çökmə sürəti, sürətli film əmələ gətirmə sürəti, 30 um qalınlığında film hazırlaya bilər.
⑤ Örtükə tətbiq olunan substrat materialı və film materialı nisbətən genişdir. Metal birləşmələrin, polad, əlvan metallar, kvars, keramika, plastik və örtük səthindəki digər materiallar kimi metal olmayan materialların metal və ya metal olmayan səth örtüyünə tətbiq olunur. Plazmanın aktivliyi birləşmələrin sintez temperaturunu aşağı salmağa kömək etdiyindən, ion örtüyü müxtəlif super sərt birləşmə filmlərinin örtülməsini asanlaşdırır.
İon örtüyü yuxarıda göstərilən xüsusiyyətlərə malik olduğundan, olduqca geniş tətbiq sahəsinə malikdir. İon örtük texnologiyası metalları, ərintiləri, keçirici materialları və hətta keçirici olmayan materialları (yüksək tezlikli qərəzdən istifadə etməklə) substrat üzərində örtmək üçün istifadə edilə bilər. Filmin ion örtük çökməsi metal örtük, çox ərintili örtük, mürəkkəb örtük ola bilər, tək təbəqəli örtük, həmçinin kompozit örtük, həmçinin qradiyent örtük və nano-çoxqatlı örtük ola bilər. Müxtəlif membran materiallarının, fərqli reaksiya qazlarının və fərqli proses metodlarının və parametrlərinin istifadəsi ilə sərt aşınmaya davamlı örtük, sıx və kimyəvi cəhətdən sabit korroziyaya davamlı örtük, bərk yağlama təbəqəsi, müxtəlif rəngli dekorativ kilid təbəqəsi, eləcə də elektronika, optika, enerji elmləri və digər xüsusi funksional örtük əldə etmək mümkündür. İon örtük texnologiyası və ion örtük məhsulları geniş istifadə edilmişdir.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 12 Yanvar 2024