③ Жабынның жоғары сапасы Иондық бомбалау мембрананың тығыздығын арттыра алады, мембрананың ұйымдастырушылық құрылымын жақсартады, мембрана қабатының біркелкілігін жақсартады, тығыз жабынды ұйымдастырады, түйреуіштер мен көпіршіктерді азайтады, осылайша мембрана қабатының сапасын жақсартады.
④Жоғары тұндыру жылдамдығы, жылдам пленка түзу жылдамдығы, 30 мкм қалыңдықтағы пленканы дайындауға мүмкіндік береді.
⑤ Жабынға қолданылатын субстрат материалы мен пленка материалы салыстырмалы түрде кең. Металл қосылыстарының, металл емес материалдардың, мысалы, болат, түсті металдар, кварц, керамика, пластмасса және жабын бетіндегі басқа материалдардың металл немесе металл емес беткі қабатына қолданылады. Плазманың белсенділігі қосылыстардың синтез температурасын төмендетуге ықпал ететіндіктен, иондық қаптама әртүрлі аса қатты қосылыс пленкаларын қаптауды жеңілдетеді.
Иондық қаптама жоғарыда аталған сипаттамаларға ие болғандықтан, оның қолданылу аясы өте кең. Иондық қаптама технологиясын металдарды, қорытпаларды, өткізгіш материалдарды және тіпті өткізбейтін материалдарды (жоғары жиілікті ығысуды қолдана отырып) негізге жабу үшін пайдалануға болады. Пленканы иондық қаптамамен тұндыру металл пленка, көп қорытпалы пленка, құрама пленка болуы мүмкін, бір қабатты қаптауға болады, сондай-ақ композиттік қаптамамен қаптауға болады; сонымен қатар градиенттік қаптама және нано-көп қабатты қаптамамен қаптауға болады. Әр түрлі мембраналық материалдарды, әртүрлі реакция газдарын және әртүрлі процесс әдістері мен параметрлерін пайдалану арқылы қатты тозуға төзімді қаптаманың бетін нығайтуға, тығыз және химиялық тұрақты коррозияға төзімді қаптаманы, қатты майлау қабатын, әртүрлі түсті сәндік құлыптау қабатын, сондай-ақ электроника, оптика, энергетика және басқа да арнайы функционалды қаптаманы алуға болады. Иондық қаптама технологиясы және иондық қаптама өнімдері кеңінен қолданылды.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 12 қаңтар