Gyzgyn filament CVD pes basyşda göwheri ösdürip ýetişdirmegiň iň irki we meşhur usulydyr. 1982 Matsumoto we başg. 2000 ° C-den ýokary çydamly metal filamenti gyzdyrdy, bu temperaturada filamentden geçýän H2 gazy wodorod atomlaryny aňsatlyk bilen öndürýär. Uglewodorod pirolizi wagtynda atom wodorodynyň öndürilmegi göwher filmleriniň çökdüriliş derejesini ýokarlandyrdy. Almaz saýlanyp goýulýar we grafit emele gelmegi päsgelçilik döredýär, netijede göwher filminiň mm / sag tertibi boýunça depozit derejesi bolýar, bu bolsa senagatda köplenç ulanylýan usullar üçin gaty ýokary depozit derejesidir. HFCVD metan, propan, asetilen we beýleki uglewodorodlar ýaly dürli uglerod çeşmelerini, hatda aseton, etanol we metanol ýaly kislorodly uglewodorodlary ulanmak arkaly amala aşyrylyp bilner. Kislorody öz içine alýan toparlaryň goşulmagy, göwheriň çökmegi üçin temperatura diapazonyny giňeldýär.
Adaty HFCVD ulgamyndan başga-da, HFCVD ulgamyna birnäçe üýtgetmeler girizildi. Iň ýaýran DC plazma we HFCVD ulgamy. Bu ulgamda substrata we filamente bir taraplaýyn naprýa .eniýe ulanylyp bilner. Substrata yzygiderli oňyn garaýyş we filamentdäki belli bir negatiw taraplar, elektronlaryň substraty bombalamagyna sebäp bolýar, üstündäki wodorodyň zaýalanmagyna ýol açýar. Desorpsiýanyň netijesi, elektron kömegi bilen HFCVD diýlip atlandyrylýan almaz filminiň (sagatda takmynan 10 mm) çökdüriliş derejesiniň ýokarlanmagydyr. durnuksyz plazma akymyny döretmek üçin ikitaraplaýyn naprýa .eniýe ýokary bolanda, H2 we uglewodorodlaryň dargamagy ep-esli ýokarlanýar, netijede ösüş depgininiň ýokarlanmagyna getirýär. Iki taraplaýyn polýarlyk tersine öwrülende (substrat negatiw taraply), substratda ion bombalanmagy bolup, göwher däl substratlarda göwher ýadrosynyň köpelmegine sebäp bolýar. Anotherene bir üýtgetme, birmeňzeş çökdürilişi we ahyrsoňy göwher filminiň uly meýdanyny gazanmak üçin bir gyzgyn filamentiň birnäçe dürli filament bilen çalşylmagydyr. HFCVD-iň ýetmezçiligi, filamentiň termiki bugarmagy göwher filminde hapalary emele getirip biler.
(2) Mikrotolkunly plazma CVD (MWCVD)
1970-nji ýyllarda alymlar atom plazmasynyň kömegi bilen atom wodorodynyň konsentrasiýasynyň artyp biljekdigini ýüze çykardylar. Netijede, plazma H2-ni atom wodorodyna bölüp we uglerod esasly atom toparlaryny işjeňleşdirip, göwher filmleriň emele gelmegini öňe sürýän başga bir usula öwrüldi. DC plazmasyndan başga-da, plazmanyň başga iki görnüşi hem ünsi çekdi. Mikrotolkunly plazma CVD tolgundyryş ýygylygy 2,45 GHZ, RF plazma CVD bolsa 13,56 MGs tolgundyryjy ýygylygy bar. mikrotolkun plazmalary mikrotolkun ýygylygynyň elektron yrgyldylaryna sebäp bolmagy bilen özboluşlydyr. Elektronlar gaz atomlary ýa-da molekulalar bilen çaknyşanda, ýokary bölünme derejesi öndürilýär. Mikrotolkunly plazma köplenç “gyzgyn” elektronlar, “sowuk” ionlary we bitarap bölejikler bilen materiýa diýilýär. Inçe film çökdürilende, mikrotolkunlar plazma bilen güýçlendirilen CVD sintez kamerasyna penjireden girýärler. Lýumesent plazma, adatça, sferik görnüşde bolup, mikrotolkun güýji bilen sferanyň ululygy ýokarlanýar. Göwher inçe filmler, lýumesent sebitiniň bir burçundaky substratda ösdürilip ýetişdirilýär we substrat lýumesent sebiti bilen göni aragatnaşykda bolmaly däldir.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýun-19-2024