CVD ea filament e chesang ke mokhoa oa pele le o tsebahalang haholo oa ho holisa taemane ka khatello e tlase. 1982 Matsumoto le ba bang ba ile ba futhumatsa filament ea tšepe e hanyetsang ho feta 2000°C, moo mocheso oo khase ea H2 e fetang ka har'a filament e hlahisang liathomo tsa haedrojene habonolo. Tlhahiso ea haedrojene ea athomo nakong ea hydrocarbon pyrolysis e ekelitse sekhahla sa ho beoa ha lifilimi tsa taemane. Taemane e beoa ka mokhoa o khethiloeng 'me ho thehoa ha graphite hoa thibeloa, e leng se fellang ka sekhahla sa ho beoa ha filimi ea taemane ka tatellano ea mm/h, e leng sekhahla se phahameng haholo sa ho beoa bakeng sa mekhoa e sebelisoang haholo indastering. HFCVD e ka etsoa ho sebelisoa mehloli e fapaneng ea khabone, joalo ka methane, propane, acetylene, le li-hydrocarbon tse ling, esita le li-hydrocarbon tse ling tse nang le oksijene, joalo ka acetone, ethanol le methanol. Ho eketsoa ha lihlopha tse nang le oksijene ho atolosa mocheso bakeng sa ho beoa ha taemane.
Ntle le sistimi e tloaelehileng ea HFCVD, ho na le liphetoho tse 'maloa tsamaisong ea HFCVD. E tloaelehileng haholo ke sistimi e kopaneng ea plasma ea DC le HFCVD. Tsamaisong ena, motlakase oa khethollo o ka sebelisoa ho substrate le filament. Khetho e ntle e sa khaotseng holim'a substrate le khethollo e itseng e mpe holim'a filament li etsa hore lielektrone li hlasele substrate, e leng se lumellang haedrojene ea holim'a metsi ho ntsha sorbency. Sephetho sa ho ntsha mokelikeli ke keketseho ea sekhahla sa ho beoa ha filimi ea daemane (hoo e ka bang 10 mm/h), mokhoa o tsejoang e le HFCVD e thusitsoeng ke electron. ha motlakase oa khethollo o phahame ho lekana ho etsa phallo e tsitsitseng ea plasma, ho bola ha H2 le hydrocarbons ho eketseha haholo, e leng se qetellang se lebisa keketsehong ea sekhahla sa kholo. Ha polarity ea khethollo e khutlisetsoa morao (substrate e leeme hampe), ho phatloha ha ion ho etsahala holim'a substrate, e leng se lebisang keketsehong ea nucleation ea daemane holim'a substrate tse seng tsa daemane. Phetoho e 'ngoe ke ho nkeloa sebaka ha khoele e le 'ngoe e chesang ka likhoele tse 'maloa tse fapaneng e le ho fihlela ho kenngoa ho tšoanang 'me qetellong ho be le sebaka se seholo sa filimi ea taemane. Bothata ba HFCVD ke hore mouoane oa mocheso oa khoele o ka etsa litšila filiming ea taemane.
(2) Microwave Plasma CVD (MWCVD)
Lilemong tsa bo-1970, bo-rasaense ba ile ba sibolla hore mahloriso a haedrojene ea athomo a ka eketseha ho sebelisoa plasma ea DC. Ka lebaka leo, plasma e ile ea fetoha mokhoa o mong oa ho khothalletsa ho thehoa ha lifilimi tsa daemane ka ho arola H2 hore e be hydrogen ea athomo le ho kenya tšebetsong lihlopha tsa athomo tse thehiloeng khaboneng. Ntle le plasma ea DC, mefuta e meng e 'meli ea plasma le eona e fumane tlhokomelo. CVD ea plasma ea microwave e na le maqhubu a ho hlasimolla a 2.45 GHZ, 'me RF plasma CVD e na le maqhubu a ho hlasimolla a 13.56 MHz. Li-plasma tsa microwave li ikhetha ka hore maqhubu a microwave a baka ho thothomela ha lielektrone. Ha lielektrone li thulana le liathomo tsa khase kapa limolek'hule, sekhahla se phahameng sa ho arohana sea hlahisoa. Plasma ea microwave hangata e bitsoa taba e nang le lielektrone tse "chesang", li-ion tse "batang" le likaroloana tse sa nke lehlakore. Nakong ea ho kenngoa ha filimi e tšesaane, li-microwave li kena ka kamoreng ea synthesis ea CVD e ntlafalitsoeng ke plasma ka fensetere. Plasma e khanyang hangata e chitja ka sebopeho, 'me boholo ba leqhubu boa eketseha ka matla a microwave. Lifilimi tse tšesaane tsa taemane li lengoa holim'a substrate sekhutlong sa sebaka se khanyang, 'me substrate ha ea lokela ho kopana ka ho toba le sebaka se khanyang.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Phuptjane-19-2024