Ny kofehy mafana CVD no fomba voalohany sy malaza indrindra amin'ny fampitomboana diamondra amin'ny tsindry ambany. Tamin'ny 1982, Matsumoto et al. dia nafanaina kofehy metaly tsy mety levona hatramin'ny 2000°C mahery, izay amin'ny mari-pana izay ahafahan'ny entona H2 mandalo amin'ny kofehy mamokatra mora foana ny atôma hidrôzenina. Ny famokarana hidrôzenina atomika mandritra ny pyrolysis hydrocarbon dia nampitombo ny tahan'ny fametrahana ny sarimihetsika diamondra. Ny diamondra dia apetraka amin'ny fomba voafantina ary ny fiforonan'ny grafita dia voasakana, ka miteraka tahan'ny fametrahana ny sarimihetsika diamondra eo amin'ny filaharan'ny mm/h, izay tahan'ny fametrahana avo dia avo ho an'ny fomba ampiasaina matetika amin'ny indostria. Ny HFCVD dia azo atao amin'ny fampiasana loharano karbônina isan-karazany, toy ny metana, propane, acetylene, ary hydrocarbons hafa, ary na dia ny hydrocarbons misy oksizenina sasany aza, toy ny acétone, ethanol, ary methanol. Ny fanampiana vondrona misy oksizenina dia manitatra ny elanelan'ny mari-pana ho an'ny fametrahana diamondra.
Ankoatra ny rafitra HFCVD mahazatra, dia misy fanovana maromaro amin'ny rafitra HFCVD. Ny mahazatra indrindra dia ny rafitra plasma DC sy HFCVD mitambatra. Amin'ity rafitra ity, dia azo ampiharina amin'ny substrate sy ny kofehy ny voltazy bias. Ny bias tsara tsy tapaka eo amin'ny substrate sy ny bias ratsy sasany eo amin'ny kofehy dia mahatonga ny elektrôna handratra ny substrate, ka mamela ny hidrôzenina eny ambonin'ny tany ho levona. Ny vokatry ny desorption dia fitomboan'ny tahan'ny fametrahana ny sarimihetsika diamondra (eo amin'ny 10 mm/ora eo ho eo), teknika fantatra amin'ny anarana hoe HFCVD ampiasan'ny elektrôna. Rehefa avo ampy ny voltazy bias mba hamoronana fivoahan'ny plasma marin-toerana, dia mitombo be ny fahapotehan'ny H2 sy ny hydrocarbons, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny tahan'ny fitomboana. Rehefa mivadika ny polarity amin'ny bias (tsy mitongilana ny substrate), dia mitranga ny baomba ion eo amin'ny substrate, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny nucleation diamondra amin'ny substrates tsy diamondra. Fanovana iray hafa ny fanoloana kofehy mafana tokana amin'ny kofehy maromaro samihafa mba hahazoana fametrahana mitovy ary amin'ny farany dia hahazoana faritra midadasika misy sarimihetsika diamondra. Ny tsy fahampian'ny HFCVD dia ny hoe ny etona mafana amin'ny kofehy dia mety hamorona loto ao amin'ny sarimihetsika diamondra.
(2) CVD amin'ny plasma amin'ny alalan'ny onjam-peo (microwave plasma CVD) (MWCVD)
Tamin'ny taona 1970, nahita ireo mpahay siansa fa azo ampitomboina amin'ny alalan'ny plasma DC ny fifantohan'ny hidrôzenina atomika. Vokatr'izany, ny plasma dia lasa fomba iray hafa hampiroboroboana ny fiforonan'ny sarimihetsika diamondra amin'ny alàlan'ny famongorana ny H2 ho hidrôzenina atomika sy ny fampandehanana ireo vondrona atomika mifototra amin'ny karbônina. Ankoatra ny plasma DC, dia karazana plasma roa hafa koa no nahazo ny sain'ny olona. Ny plasma microwave CVD dia manana fatran'ny fientanentanana 2.45 GHZ, ary ny plasma RF CVD dia manana fatran'ny fientanentanana 13.56 MHz. Miavaka ny plasma microwave satria ny fatran'ny microwave dia miteraka hovitrovitra elektrôna. Rehefa mifandona amin'ny atôma na molekiola entona ny elektrôna, dia avo dia avo ny tahan'ny fisarahana vokarina. Matetika ny plasma microwave dia antsoina hoe zavatra misy elektrôna "mafana", iôna "mangatsiaka" ary poti-javatra tsy miandany. Mandritra ny fametrahana sarimihetsika manify, ny microwave dia miditra ao amin'ny efitrano fananganana CVD nohatsaraina amin'ny plasma amin'ny alàlan'ny varavarankely. Ny plasma luminescent dia amin'ny ankapobeny dia boribory ny endriny, ary mitombo ny haben'ny sfera miaraka amin'ny herin'ny microwave. Ambolena eo amin'ny substrate iray ao amin'ny zoron'ny faritra mamiratra ny sarimihetsika manify diamondra, ary tsy voatery hifandray mivantana amin'ny faritra mamiratra ny substrate.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 19 Jona 2024