ሙቅ ክር ሲቪዲ (CVD) አልማዝ በዝቅተኛ ግፊት ለማብቀል በጣም ጥንታዊ እና በጣም ታዋቂው ዘዴ ነው። 1982 ማትሱሞቶ እና ሌሎችም የማይበላሽ የብረት ክር ከ2000°ሴ በላይ አሞቁ፣ በዚህ የሙቀት መጠን በክር በኩል የሚያልፈው የH2 ጋዝ በቀላሉ የሃይድሮጂን አቶሞችን ያመነጫል። በሃይድሮካርቦን ፒሮሊሲስ ወቅት የአቶሚክ ሃይድሮጂን ምርት የአልማዝ ፊልሞችን የመቀመጫ መጠን ጨምሯል። አልማዝ በተመረጠ ሁኔታ ይቀመጣል እና የግራፋይት መፈጠር ይከለከላል፣ ይህም የአልማዝ ፊልም የመቀመጫ መጠን በ mm/h ቅደም ተከተል እንዲፈጠር ያደርጋል፣ ይህም በኢንዱስትሪ ውስጥ በተለምዶ ጥቅም ላይ ለሚውሉ ዘዴዎች በጣም ከፍተኛ የመቀመጫ መጠን ነው። HFCVD እንደ ሚቴን፣ ፕሮፔን፣ አሲቴሊን እና ሌሎች ሃይድሮካርቦኖች እና እንደ አሴቶን፣ ኤታኖል እና ሜታኖል ያሉ የተለያዩ የካርቦን ምንጮችን በመጠቀም ሊከናወን ይችላል። የኦክስጅን የያዙ ቡድኖች መጨመር የአልማዝ ክምችት የሙቀት መጠንን ያሰፋል።
ከተለመደው የHFCVD ስርዓት በተጨማሪ፣ በHFCVD ስርዓት ላይ በርካታ ማሻሻያዎች አሉ። በጣም የተለመደው የተቀናጀ የዲሲ ፕላዝማ እና የHFCVD ስርዓት ነው። በዚህ ስርዓት ውስጥ፣ የዳይኦ ቮልቴጅ በንጥረ ነገር እና በክር ላይ ሊተገበር ይችላል። በንጥረ ነገር ላይ የማያቋርጥ አዎንታዊ አድልዎ እና በክር ላይ የተወሰነ አሉታዊ አድልዎ ኤሌክትሮኖች በንጥረ ነገር ላይ እንዲወድቁ ያደርጋቸዋል፣ ይህም የገጽታ ሃይድሮጂን እንዲፈርስ ያስችለዋል። የመጥፋት ውጤቱ የአልማዝ ፊልም የመቀመጫ መጠን መጨመር ነው (በ10 ሚሜ/ሰዓት አካባቢ)፣ ይህም በኤሌክትሮን-አሲስትድ HFCVD በመባል የሚታወቅ ዘዴ ነው። የዳይኦ ቮልቴጅ የተረጋጋ የፕላዝማ ፈሳሽ ለመፍጠር በቂ ከፍተኛ ሲሆን፣ የH2 እና የሃይድሮካርቦኖች መበስበስ በከፍተኛ ሁኔታ ይጨምራል፣ ይህም በመጨረሻ የእድገት መጠን እንዲጨምር ያደርጋል። የዳይኦራሪቲው ፖላሪቲ ሲገለበጥ (ንጥረ ነገር አሉታዊ አድልዎ አለው)፣ የአዮን ቦምብ ድብደባ በንጥረ ነገር ላይ ይከሰታል፣ ይህም በአልማዝ ባልሆኑ ንጥረ ነገሮች ላይ የአልማዝ ኑክላይዜሽን እንዲጨምር ያደርጋል። ሌላው ማሻሻያ አንድ ነጠላ ሙቅ ክር በተለያዩ ክሮች መተካት ሲሆን ይህም ወጥ የሆነ ክምችት እና በመጨረሻም ሰፊ የአልማዝ ፊልም ቦታን ለማሳካት ነው። የኤችኤፍሲቪዲ ጉዳቱ የክር የሙቀት ትነት በአልማዝ ፊልም ውስጥ ብክለት ሊፈጥር ይችላል።
(2) ማይክሮዌቭ ፕላዝማ ሲቪዲ (MWCVD)
በ1970ዎቹ ሳይንቲስቶች የአቶሚክ ሃይድሮጂን ክምችት በዲሲ ፕላዝማ ሊጨምር እንደሚችል ደርሰውበታል። በዚህም ምክንያት ፕላዝማ H2ን ወደ አቶሚክ ሃይድሮጂን በመበታተን እና በካርቦን ላይ የተመሰረቱ የአቶሚክ ቡድኖችን በማነቃቃት የአልማዝ ፊልሞችን መፈጠር ለማበረታታት ሌላ ዘዴ ሆነ። ከዲሲ ፕላዝማ በተጨማሪ ሁለት ሌሎች የፕላዝማ ዓይነቶችም ትኩረት አግኝተዋል። የማይክሮዌቭ ፕላዝማ CVD የ2.45 GHZ የማነቃቂያ ድግግሞሽ አለው፣ እና የRF ፕላዝማ CVD የ13.56 MHz የማነቃቂያ ድግግሞሽ አለው። የማይክሮዌቭ ፕላዝማዎች የማይክሮዌቭ ድግግሞሽ የኤሌክትሮን ንዝረትን ስለሚያመጣ ልዩ ናቸው። ኤሌክትሮኖች ከጋዝ አቶሞች ወይም ሞለኪውሎች ጋር ሲጋጩ ከፍተኛ የመከፋፈል ፍጥነት ይመረታል። የማይክሮዌቭ ፕላዝማ ብዙውን ጊዜ ከ"ትኩስ" ኤሌክትሮኖች፣ "ቀዝቃዛ" አየኖች እና ገለልተኛ ቅንጣቶች ጋር እንደ ቁስ ይባላል። በቀጭን የፊልም ክምችት ወቅት ማይክሮዌቭዎች በመስኮት በኩል በፕላዝማ የተሻሻለውን የሲቪዲ ውህደት ክፍል ይገባሉ። የሚያብረቀርቀው ፕላዝማ በአጠቃላይ ክብ ቅርጽ ያለው ሲሆን የሉሉ መጠን በማይክሮዌቭ ኃይል ይጨምራል። የአልማዝ ቀጭን ፊልሞች የሚበቅሉት በብርሃን ሰንሰለቱ ክልል ጥግ ላይ ባለ ንጣፍ ላይ ሲሆን ንጣፉ ከብርሃን ሰንሰለቱ ክልል ጋር በቀጥታ መገናኘት የለበትም።
- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ
የፖስታ ሰዓት፡ ሰኔ-19-2024