CVD риштаи гарм аввалин ва маъмултарин усули парвариши алмос дар фишори паст аст. Соли 1982 Матсумото ва ҳамкорон риштаи металлии оташгирандаро то зиёда аз 2000°C гарм карданд, ки дар он ҳарорат гази H2, ки аз ришта мегузарад, ба осонӣ атомҳои гидрогенро ба вуҷуд меорад. Истеҳсоли гидрогени атомӣ ҳангоми пиролизи гидрокарбон суръати ҷойгиршавии плёнкаҳои алмосро афзоиш дод. Алмос ба таври интихобӣ ҷойгир карда мешавад ва ташаккули графит боздошта мешавад, ки дар натиҷа суръати ҷойгиршавии плёнкаҳои алмос ба тартиби мм/соат мерасад, ки суръати ҷойгиршавии хеле баланд барои усулҳое мебошад, ки дар саноат маъмулан истифода мешаванд. HFCVD-ро метавон бо истифода аз манбаъҳои гуногуни карбон, ба монанди метан, пропан, ацетилен ва дигар карбогидридҳо ва ҳатто баъзе карбогидридҳои дорои оксиген, ба монанди ацетон, этанол ва метанол анҷом дод. Илова кардани гурӯҳҳои дорои оксиген диапазони ҳароратро барои ҷойгиршавии алмос васеъ мекунад.
Илова бар системаи маъмулии HFCVD, дар системаи HFCVD як қатор тағйиротҳо мавҷуданд. Маъмултарин системаи якҷояи плазмаи DC ва HFCVD мебошад. Дар ин система, шиддати таассуб метавонад ба субстрат ва ришта татбиқ карда шавад. Таассуби мусбати доимӣ дар субстрат ва таассуби муайяни манфӣ дар ришта боиси бомбаборон кардани электронҳо ба субстрат мегардад ва ба гидрогени сатҳӣ имкон медиҳад, ки десорбсия шавад. Натиҷаи десорбсия афзоиши суръати ҷойгиршавии плёнкаи алмос (тақрибан 10 мм/соат) мебошад, ки ин усул бо номи HFCVD-и бо ёрии электрон маълум аст. вақте ки шиддати таассуб барои эҷоди разряди устувори плазма ба қадри кофӣ баланд аст, таҷзияи H2 ва карбогидридҳо ба таври назаррас меафзояд, ки дар ниҳоят ба афзоиши суръати афзоиш оварда мерасонад. Вақте ки қутби таассуб баръакс мешавад (субстрат таассуби манфӣ дорад), бомбаборонкунии ионҳо дар субстрат ба амал меояд, ки боиси афзоиши ядрошавии алмос дар субстратҳои ғайриалмосӣ мегардад. Тағйироти дигар иваз кардани як риштаи гарм бо якчанд риштаҳои гуногун барои ноил шудан ба таҳшиншавии якхела ва дар ниҳоят ба даст овардани масоҳати калони плёнкаи алмос мебошад. Камбудии HFCVD дар он аст, ки бухоршавии гармии ришта метавонад дар плёнкаи алмос ифлоскунандаҳоро ба вуҷуд орад.
(2) CVD плазмавии печи микроволновка (MWCVD)
Дар солҳои 1970-ум олимон кашф карданд, ки консентратсияи гидрогени атомиро бо истифода аз плазмаи DC зиёд кардан мумкин аст. Дар натиҷа, плазма ба усули дигари мусоидат ба ташаккули плёнкаҳои алмосӣ тавассути таҷзияи H2 ба гидрогени атомӣ ва фаъолсозии гурӯҳҳои атомии карбон табдил ёфт. Илова бар плазмаи DC, ду намуди дигари плазма низ таваҷҷӯҳро ба худ ҷалб кардаанд. CVD плазмаи микроволновка басомади ангезиш 2.45 ГГц ва CVD плазмаи RF басомади ангезиш 13.56 МГц дорад. Плазмаҳои микроволновка бо он беназиранд, ки басомади микроволновка ларзишҳои электронро ба вуҷуд меорад. Вақте ки электронҳо бо атомҳо ё молекулаҳои газ бархӯрд мекунанд, суръати баланди диссотсиатсия ба вуҷуд меояд. Плазмаи микроволновка аксар вақт ҳамчун модда бо электронҳои "гарм", ионҳои "хунук" ва зарраҳои бетараф номида мешавад. Ҳангоми ҷойгиршавии плёнкаи тунук, микроволновкаҳо тавассути тиреза ба камераи синтези CVD, ки бо плазма такмил дода шудааст, ворид мешаванд. Плазмаи люминесцентӣ одатан шакли курашакл дорад ва андозаи кура бо қувваи микроволновка меафзояд. Плёнкаҳои тунуки алмосӣ дар рӯи субстрат дар кунҷи минтақаи нурафшон парвариш карда мешаванд ва субстрат набояд мустақиман бо минтақаи нурафшон тамос дошта бошад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 19 июни соли 2024