Fiilada kulul ee CVD waa habka ugu horreeya uguna caansan ee lagu beero dheemanka cadaadis hooseeya. 1982 Matsumoto et al. waxay kululeeyeen fiilada birta ah ee aan la qabsan karin ilaa heerkul ka badan 2000°C, heerkulkaas oo gaaska H2 ee dhex mara fiilada uu si fudud u soo saaro atamka haydarojiin. Soo saarista haydarojiin atomi ah inta lagu jiro pyrolysis-ka haydarojiin ayaa kordhisay heerka dhigista filimada dheemanka. Dheemanka si gaar ah ayaa loo dhigaa oo sameynta graphite waa la joojiyaa, taasoo keentay heerarka dhigista filimka dheemanka iyadoo loo eegayo mm/h, taas oo ah heer dhigista aad u sarreeya ee hababka badanaa loo isticmaalo warshadaha. HFCVD waxaa lagu samayn karaa iyadoo la adeegsanayo ilo kala duwan oo kaarboon ah, sida methane, propane, acetylene, iyo hydrocarbons kale, iyo xitaa qaar ka mid ah hydrocarbons-ka ka kooban ogsijiin, sida acetone, ethanol, iyo methanol. Ku darista kooxaha ka kooban ogsijiin waxay ballaarisaa heerkulka dhigista dheemanka.
Marka laga soo tago nidaamka caadiga ah ee HFCVD, waxaa jira dhowr wax ka beddel oo lagu sameeyay nidaamka HFCVD. Tan ugu badan waa isku-darka balaasmaha DC iyo nidaamka HFCVD. Nidaamkan, danab eex ayaa lagu dabaqi karaa substrate-ka iyo fiilooyinka. Eex joogto ah oo togan oo ku yaal substrate-ka iyo eex taban oo gaar ah oo ku yaal fiilooyinka ayaa sababa in elektaroonada ay duqeeyaan substrate-ka, taasoo u oggolaanaysa haydarojiinta dusha sare inay burburiso. Natiijada ka dhalata nuugista waa kororka heerka dhigista filimka dheemanka (qiyaastii 10 mm/saacaddii), farsamo loo yaqaan HFCVD oo elektaroonik ah oo caawisa. marka danabka eexdu uu sareeyo si uu u abuuro dheecaan balaasma oo deggan, kala-goynta H2 iyo hydrocarbons ayaa si weyn u kordheysa, taasoo ugu dambeyntii horseedda koror ku yimaada heerka koritaanka. Marka polarity-ga eexdu uu rogo (substrate-ku waa mid si taban u janjeera), bamgareynta ion-ka waxay ka dhacdaa substrate-ka, taasoo horseedda koror ku yimaada nucleation-ka dheemanka ee substrate-ka aan dheemanka ahayn. Wax ka beddel kale waa beddelka hal fiilooyin kulul oo leh dhowr fiilooyin oo kala duwan si loo gaaro meel dhigasho isku mid ah iyo ugu dambeyntii meel weyn oo filim dheeman ah. Khasaaraha HFCVD ayaa ah in uumi-baxa kulaylka ee fiilooyinka uu samayn karo wasakh ku jirta filimka dheemanka.
(2) Microwave-ka Plasma CVD (MWCVD)
Sannadihii 1970-meeyadii, saynisyahannadu waxay ogaadeen in fiirsashada haydarojiinta atomiga la kordhin karo iyadoo la isticmaalayo balaasmaha DC. Natiijo ahaan, balaasmaha waxay noqotay hab kale oo lagu dhiirrigeliyo sameynta filimada dheemanka iyadoo la kala furfurayo H2 una beddelayo haydarojiinta atomiga iyo kicinta kooxaha atomiga ku salaysan kaarboonka. Marka laga soo tago balaasmaha DC, laba nooc oo kale oo balaasmaha ah ayaa sidoo kale la fiiro gaar ah la siiyay. Balaasmaha microwave-ka CVD wuxuu leeyahay soo noqnoqoshada kicinta oo ah 2.45 GHZ, balaasmaha RF-na CVD wuxuu leeyahay soo noqnoqoshada kicinta oo ah 13.56 MHz. Balaasmaha microwave-ka waa kuwo gaar ah sababtoo ah soo noqnoqoshada microwave-ka waxay kicisaa gariirka elektarooniga. Marka elektaroonada ay isku dhacaan atamka gaaska ama molecules-ka, heerka kala-goynta oo sarreeya ayaa la soo saaraa. Balaasmaha microwave-ka waxaa badanaa loogu yeeraa walxo leh elektaroono "kulul", ion "qabow" iyo walxo dhexdhexaad ah. Inta lagu jiro dhigista filimka khafiifka ah, microwave-yadu waxay galaan qolka isku-darka CVD ee balaasmaha lagu xoojiyay iyagoo maraya daaqad. Balaasmaha iftiinka leh guud ahaan waa qaab wareegsan, cabbirka wareegana wuu kordhaa iyadoo la adeegsanayo awoodda microwave-ka. Filimada khafiifka ah ee dheemanka ah ayaa lagu beeraa substrate ku yaal gees ka mid ah gobolka iftiimaya, substrate-kuna uma baahna inuu si toos ah ula xiriiro gobolka iftiimaya.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Juun-19-2024