ลักษณะเฉพาะของการดัดแปลงพื้นผิวพลาสมา

พลาสมาพลังงานสูงสามารถโจมตีและแผ่รังสีวัสดุพอลิเมอร์ ทำลายโซ่โมเลกุลของวัสดุ ก่อให้เกิดกลุ่มที่ใช้งาน เพิ่มพลังงานพื้นผิว และก่อให้เกิดการกัดกร่อน การปรับพื้นผิวด้วยพลาสมาไม่ส่งผลกระทบต่อโครงสร้างภายในและประสิทธิภาพของวัสดุจำนวนมาก แต่เพียงเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติของพื้นผิวเท่านั้น

เพื่อไม่ให้เกิดความเสียหายต่อคุณสมบัติของวัสดุเอง การบำบัดด้วยการดัดแปลงพื้นผิวพลาสม่ามักจะไม่ใช้พลาสม่าที่มีความหนาแน่นของพลังงานสูง ความแตกต่างระหว่างการบำบัดนี้กับการบำบัดด้วยพลาสม่าอื่นๆ คือ:

1) ห้ามฉีดไอออนหรืออะตอมลงบนพื้นผิวที่ได้รับการรักษา (เช่น การฝังไอออน)

2) ห้ามกำจัดวัสดุขนาดใหญ่ (เช่น การสปัตเตอร์หรือการกัดกร่อน)

3) อย่าเพิ่มวัสดุเป็นชั้นเดี่ยว (ระดับอะตอม) มากกว่าสองสามชั้นลงบนพื้นผิว (เช่น การสะสม)

โดยสรุป การบำบัดพื้นผิวพลาสม่าเกี่ยวข้องกับเพียงชั้นอะตอมชั้นนอกสุดเพียงไม่กี่ชั้นเท่านั้น

พารามิเตอร์กระบวนการสำหรับการปรับเปลี่ยนพื้นผิวพลาสม่า ได้แก่ แรงดันแก๊ส ความถี่ของสนามไฟฟ้า กำลังการคายประจุ เวลาการทำงาน เป็นต้น พารามิเตอร์กระบวนการนั้นปรับได้ง่าย ในระหว่างกระบวนการปรับเปลี่ยนพลาสม่า อนุภาคที่ใช้งานจำนวนมากมีแนวโน้มที่จะทำปฏิกิริยากับพื้นผิวที่ผ่านการบำบัดที่สัมผัส และสามารถใช้ในการบำบัดพื้นผิววัสดุได้ เมื่อเปรียบเทียบกับวิธีการดั้งเดิม การปรับเปลี่ยนพื้นผิวพลาสม่ามีข้อดีคือ กระบวนการที่เรียบง่าย การดำเนินการที่เรียบง่าย ต้นทุนต่ำ ปราศจากมลพิษ ปราศจากของเสีย การผลิตที่ปลอดภัย และประสิทธิภาพสูง