Таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ як навъ технологияи ҷойгиркунии филми тунук дар муҳити вакуумӣ мебошад, ки дар электроника, оптика, материалшиносӣ, энергетика ва ғайра васеъ истифода мешавад. Таҷҳизоти пӯшидани вакуумӣ асосан аз қисмҳои зерин иборат аст:
Палатаи вакуумӣ: Ин қисми асосии таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ мебошад, ки дар он тамоми равандҳои пӯшиш анҷом дода мешаванд. Камераи вакуумӣ бояд қодир бошад, ки ба муҳити вакуум тоб оварад ва мӯҳри хубро нигоҳ дорад.
Насоси вакуумӣ: Он барои истихроҷи ҳаво дар дохили камераи вакуумӣ барои эҷоди муҳити вакуум истифода мешавад. Насосҳои маъмулии вакуумӣ насосҳои механикӣ ва насосҳои молекулавӣ мебошанд.
Сарчашмаи бухоршавӣ: Барои гарм кардан ва бухор кардани маводи рӯйпӯш истифода мешавад. Сарчашмаи бухоршавӣ метавонад гармидиҳии муқовимат, гармкунии шуои электронӣ, гармкунии лазерӣ ва ғайра бошад.
Чаҳорчӯбаи таҳшин (Доркунандаи субстрат): барои ҷойгир кардани субстрат барои пӯшиш истифода мешавад. Дорандаи субстрат метавонад гардиш ё кӯчонида шавад, то якрангии рӯйпӯшро таъмин кунад.
Системаи назорат: Барои идоракунии тамоми раванди пӯшиш, аз ҷумла оғоз ва қатъи насоси вакуумӣ, назорати ҳарорати манбаи бухоршавӣ ва танзими суръати таҳшин истифода мешавад.
Таҷҳизоти андозагирӣ ва назорат: Барои назорат кардани параметрҳои калидӣ дар раванди пӯшиш дар вақти воқеӣ, ба монанди дараҷаи вакуум, ҳарорат, суръати таҳшиншавӣ ва ғайра истифода мешавад.
Системаи таъминоти барқ: барои таъмини қувваи зарурӣ барои таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ.
Системаи хунуккунӣ: барои хунук кардани камераи вакуумӣ ва дигар ҷузъҳои тавлидкунандаи гармӣ барои таъмини кори мӯътадили таҷҳизот истифода мешавад.
Ҳамоҳангсозии самараноки ин ҷузъҳо ба таҷҳизоти пӯшиши вакуумӣ имкон медиҳад, ки ғафсӣ, таркиб ва сохтори филмро барои қонеъ кардани ниёзҳои гуногуни саноатӣ ва илмӣ дақиқ назорат кунад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июл-27-2024