தெளித்தல் வகைகள்

மெல்லிய படல படிவுத் துறையில், பல்வேறு தொழில்களில் துல்லியமான மற்றும் சீரான மெல்லிய படலங்களை அடைவதற்கு ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பம் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் முறையாக மாறியுள்ளது. இந்த தொழில்நுட்பங்களின் பல்துறை மற்றும் நம்பகத்தன்மை அவற்றின் பயன்பாடுகளை விரிவுபடுத்துகிறது, இதனால் பொறியாளர்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சியாளர்கள் குறிப்பிட்ட நோக்கங்களுக்காக மெல்லிய படலங்களை வடிவமைக்க முடியும். இந்த வலைப்பதிவு இடுகையில், இன்று பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பல்வேறு வகையான ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பங்களை ஆழமாகப் பார்ப்போம், அவற்றின் தனித்துவமான பண்புகள், நன்மைகள் மற்றும் பயன்பாடுகளை விளக்குவோம்.

1. டிசி ஸ்பட்டரிங்

DC ஸ்பட்டரிங் என்பது மிகவும் அடிப்படையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் மெல்லிய படல படிவு நுட்பங்களில் ஒன்றாகும். குறைந்த அழுத்த வாயு சூழலில் பளபளப்பு வெளியேற்றத்தை உருவாக்க DC சக்தி மூலத்தைப் பயன்படுத்துவதே இந்த செயல்முறையின் நோக்கமாகும். பிளாஸ்மாவில் உள்ள நேர்மறை அயனிகள் இலக்குப் பொருளைத் தாக்கி, அணுக்களை இடமாற்றம் செய்து, அடி மூலக்கூறில் வைப்பதை உள்ளடக்குகின்றன. DC ஸ்பட்டரிங் அதன் எளிமை, செலவு-செயல்திறன் மற்றும் கண்ணாடி, மட்பாண்டங்கள் மற்றும் உலோகங்கள் உள்ளிட்ட பல்வேறு அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர மெல்லிய படலங்களை வைப்பதற்கான திறனுக்காக அறியப்படுகிறது.

DC ஸ்பட்டரிங்கின் பயன்பாடுகள்:
- குறைக்கடத்தி உற்பத்தி
- ஆப்டிகல் பூச்சு
- மெல்லிய படல சூரிய மின்கலங்கள்

2. ரேடியோ அலைவரிசை மற்றும் எதிர்வினை தெளித்தல்

ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) ஸ்பட்டரிங் என்பது DC ஸ்பட்டரிங்கின் RF சக்தி உதவியுடன் கூடிய ஒரு மாறுபாடாகும். இந்த முறையில், இலக்குப் பொருள் ரேடியோ அதிர்வெண் சக்தியால் உருவாக்கப்படும் அயனிகளால் தாக்கப்படுகிறது. ஒரு RF புலத்தின் இருப்பு அயனியாக்கம் செயல்முறையை மேம்படுத்துகிறது, இது படலத்தின் கலவையை மிகவும் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது. மறுபுறம், எதிர்வினை ஸ்பட்டரிங் என்பது நைட்ரஜன் அல்லது ஆக்ஸிஜன் போன்ற எதிர்வினை வாயுவை ஸ்பட்டரிங் அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்துவதை உள்ளடக்குகிறது. இது மேம்பட்ட பொருள் பண்புகளுடன் ஆக்சைடுகள் அல்லது நைட்ரைடுகள் போன்ற சேர்மங்களின் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க உதவுகிறது.

RF மற்றும் ரியாக்டிவ் ஸ்பட்டரிங்கின் பயன்பாடுகள்:
- பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சு
- குறைக்கடத்தி தடை
- ஆப்டிகல் அலை வழிகாட்டிகள்

3. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் என்பது உயர்-விகித படிவுக்கான ஒரு பிரபலமான தேர்வாகும். இந்த தொழில்நுட்பம் பிளாஸ்மா அடர்த்தியை அதிகரிக்க இலக்கு மேற்பரப்புக்கு அருகில் ஒரு காந்தப்புலத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக அதிக அயனியாக்கம் திறன் மற்றும் சிறந்த மெல்லிய படல ஒட்டுதல் ஏற்படுகிறது. கூடுதல் காந்தப்புலம் பிளாஸ்மாவை இலக்குக்கு அருகில் கட்டுப்படுத்துகிறது, வழக்கமான ஸ்பட்டரிங் முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது இலக்கு நுகர்வு குறைகிறது. மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அதிக படிவு விகிதங்களையும் சிறந்த பூச்சு பண்புகளையும் உறுதி செய்கிறது, இது பெரிய அளவிலான உற்பத்திக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கின் பயன்பாடுகள்:
- மெல்லிய படல டிரான்சிஸ்டர்
- காந்த சேமிப்பு ஊடகம்
- கண்ணாடி மற்றும் உலோகத்தில் அலங்கார பூச்சுகள்

4. அயன் கற்றை தெளித்தல்

அயன் கற்றை தெளித்தல் (IBS) என்பது அயன் கற்றையைப் பயன்படுத்தி இலக்குப் பொருட்களை தெளிப்பதற்கான ஒரு பல்துறை நுட்பமாகும். IBS மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடியது, இது துல்லியமான படல தடிமன் கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது மற்றும் பொருள் இழப்பைக் குறைக்கிறது. இந்த தொழில்நுட்பம் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் ரீதியாக சரியான கலவை மற்றும் குறைந்த மாசு அளவுகளை உறுதி செய்கிறது. அதன் சிறந்த படல சீரான தன்மை மற்றும் இலக்குப் பொருட்களின் பரந்த தேர்வு மூலம், IBS மென்மையான, குறைபாடு இல்லாத படலங்களை உருவாக்க முடியும், இது சிறப்பு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

அயன் கற்றை தெளிப்பின் பயன்பாடுகள்:
- எக்ஸ்-ரே கண்ணாடி
- ஆப்டிகல் வடிகட்டிகள்
- தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த உராய்வு பூச்சு

முடிவில்

தெளித்தல் தொழில்நுட்ப உலகம் பரந்த மற்றும் மாறுபட்டது, பொறியாளர்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சியாளர்களுக்கு மெல்லிய படல படிவுக்கான ஏராளமான சாத்தியக்கூறுகளை வழங்குகிறது. குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப உகந்த மெல்லிய படல பண்புகளை அடைய பல்வேறு வகையான தெளித்தல் நுட்பங்கள் மற்றும் அவற்றின் பயன்பாடுகள் பற்றிய அறிவு அவசியம். எளிய DC தெளித்தல் முதல் துல்லியமான அயன் கற்றை தெளித்தல் வரை, ஒவ்வொரு முறையும் ஏராளமான தொழில்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இது அதிநவீன தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

தெளித்தல் தொழில்நுட்பத்தின் சமீபத்திய முன்னேற்றங்களைப் புரிந்துகொள்வதன் மூலம், நவீன தொழில்துறையின் வளர்ந்து வரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய மெல்லிய படலங்களின் சக்தியைப் பயன்படுத்தலாம். மின்னணுவியல், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் அல்லது மேம்பட்ட பொருட்கள் என எதுவாக இருந்தாலும், தெளித்தல் தொழில்நுட்பம் நாளைய தொழில்நுட்பங்களை நாம் வடிவமைத்து உற்பத்தி செய்யும் விதத்தை தொடர்ந்து வடிவமைக்கிறது.