Vakuumbeläggningsutrustning är en typ av tunnfilmsavsättningsteknik i vakuummiljö, som används flitigt inom elektronik, optik, materialvetenskap, energi och så vidare. Vakuumbeläggningsutrustning består huvudsakligen av följande delar:
Vakuumkammare: Detta är kärndelen av vakuumbeläggningsutrustningen, där alla beläggningsprocesser utförs. Vakuumkammaren måste kunna motstå vakuummiljön och bibehålla god tätning.
Vakuumpump: Den används för att suga ut luften inuti vakuumkammaren för att skapa en vakuummiljö. Vanliga vakuumpumpar inkluderar mekaniska pumpar och molekylära pumpar.
Avdunstningskälla: Används för att värma och avdunsta beläggningsmaterialet. Avdunstningskällan kan vara motståndsvärme, elektronstrålevärme, laservärme och så vidare.
Avsättningsram (substrathållare): används för att placera substratet som ska beläggas. Substrathållaren kan roteras eller flyttas för att säkerställa beläggningens jämnhet.
Styrsystem: Används för att styra hela beläggningsprocessen, inklusive start och stopp av vakuumpumpen, temperaturkontroll av avdunstningskällan och justering av avsättningshastigheten.
Mät- och övervakningsutrustning: Används för att övervaka nyckelparametrar i beläggningsprocessen i realtid, såsom vakuumgrad, temperatur, avsättningshastighet etc.
Strömförsörjningssystem: för att tillhandahålla den ström som behövs för vakuumbeläggningsutrustningen.
Kylsystem: används för att kyla vakuumkammaren och andra värmealstrande komponenter för att säkerställa utrustningens normala drift.
Den effektiva samordningen av dessa komponenter gör det möjligt för vakuumbeläggningsutrustningen att exakt kontrollera filmens tjocklek, sammansättning och struktur för att möta en mängd olika industriella och vetenskapliga behov.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 27 juli 2024