Parabot palapis vakum mangrupakeun jenis téhnologi déposisi pilem ipis dina lingkungan vakum, nu loba dipaké dina éléktronika, élmu optik, élmu bahan, énergi jeung saterusna. alat-alat palapis vakum utamana diwangun ku bagian handap:
Kamar vakum: Ieu mangrupikeun bagian inti tina alat palapis vakum, dimana sadaya prosés palapis dilaksanakeun. The chamber vakum kudu bisa tahan lingkungan vakum sarta ngajaga sealing alus.
Pompa vakum: Hal ieu dipaké pikeun nimba hawa di jero chamber vakum pikeun nyieun lingkungan vakum. Pompa vakum umum kalebet pompa mékanis sareng pompa molekular.
Sumber évaporasi: Dipaké pikeun panas sarta menguap bahan palapis. Sumber évaporasi tiasa janten pemanasan lalawanan, pemanasan sinar éléktron, pemanasan laser sareng saterasna.
Pigura déposisi (Panyekel Substrat): dipaké pikeun nempatkeun substrat pikeun dilapis. wadah substrat bisa diputer atawa dipindahkeun pikeun mastikeun uniformity of palapis nu.
Control System: Dipaké pikeun ngadalikeun sakabéh prosés palapis, kaasup mimiti jeung eureun tina pompa vakum, kontrol suhu sumber évaporasi, sarta adjustment tina laju déposisi.
Alat ukur sareng ngawaskeun: Dipaké pikeun ngawas parameter konci dina prosés palapis sacara real waktos, sapertos gelar vakum, suhu, laju déposisi, jsb.
Sistim catu daya: nyadiakeun kakuatan diperlukeun pikeun alat palapis vakum.
Sistim cooling: dipaké pikeun niiskeun chamber vakum sarta komponén panas generating séjén pikeun mastikeun operasi normal pakakas.
Koordinasi anu efektif tina komponén ieu ngamungkinkeun parangkat palapis vakum pikeun ngontrol ketebalan, komposisi sareng struktur pilem pikeun nyumponan rupa-rupa kabutuhan industri sareng ilmiah.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Jul-27-2024