Dhinaca meel dhigista filimada khafiifka ah, tignoolajiyada sputtering waxay noqotay hab si weyn loo isticmaalo si loo gaaro filim khafiif ah oo sax ah oo isku mid ah warshadaha kala duwan. Kala-duwanaanta iyo isku-kalsoonaanta tignoolajiyadaasi waxay balaariyaan codsiyadooda, taasoo u oggolaanaysa injineerada iyo cilmi-baarayaasha inay ku habboonaadaan filimada khafiifka ah ujeedooyin gaar ah. Maqaalkan blog-ka ah, waxaanu si qoto dheer u eegi doonaa noocyada kala duwan ee tignoolajiyada xajinta ee inta badan maanta la isticmaalo, anagoo sharaxnayna sifooyinka gaarka ah, faa'iidooyinka iyo codsiyada.
1. DC ku dhufashada
Xoojinta DC waa mid ka mid ah farsamooyinka meel dhigista filimada khafiifka ah ee aasaasiga ah uguna isticmaalka badan. Nidaamku wuxuu ku lug leeyahay isticmaalka isha korantada DC si loo dhaliyo dareere dhalaal ah jawi gaas yar yahay. Ionooyin togan oo ku jira balaasmaha ayaa duqeeya walxaha bartilmaameedka ah, iyaga oo meesha ka saaraya atamka oo ku shubaya substrate-ka. Dabaysha DC waxay caan ku tahay fududaanteeda, waxtarkeeda, iyo kartida lagu kaydiyo aflaanta khafiifka ah ee tayada sare leh ee kala duwan, oo ay ku jiraan dhalooyinka, dhoobada, iyo biraha.
Codsiyada qulqulka DC:
- Wax-soo-saarka Semiconductor
- daahan indhaha
- Unugyada qorraxda ee filim khafiif ah
2. Soo noqnoqoshada raadiyaha iyo falcelinta falcelinta
Soo noqnoqda Raadiyaha (RF) sputtering waa awood RF ah oo la caawiyey kala duwanaanshiyaha DC. Habkan, walxaha bartilmaameedka ah waxaa lagu duqeeyaa ions oo ay dhaliso awoodda inta jeer ee raadiyaha. Joogitaanka goobta RF waxay kor u qaadaysaa habka ionization, taas oo u oggolaanaysa in si sax ah loo xakameeyo halabuurka filimka. Dhinca kale falcelinta falcelinta, waxay ku lug leedahay soo bandhigida gaas fal-celiska ah, sida nitrogen ama ogsijiinta, qolka wax-soo-saarka. Tani waxay awood u siineysaa sameynta filimo khafiif ah oo isku xiran, sida oxides ama nitrides, oo leh waxyaabo la xoojiyay.
Codsiyada RF iyo Reactive Sputtering:
- Daahan ka-hortagga milicsiga
- caqabad Semiconductor
- Mawjadaha indhaha
3. Magnetron sputtering
Tuurista Magnetron waa doorasho caan ah oo loogu talagalay dhigista heerka sare. Tiknoolajiyadani waxay isticmaashaa dhul birlab ah oo u dhow dusha bartilmaameedka si loo kordhiyo cufnaanta plasma, taasoo keentay waxtarka ionization sare iyo adhesion filim khafiif ah oo aad u fiican. Goobta magnetic dheeraadka ah waxay xaddidaysaa balasmaha u dhow bartilmaameedka, hoos u dhigista isticmaalka bartilmaameedka marka loo eego hababka caadiga ah ee tufaaxa. Tuurista Magnetron waxay hubisaa in heerar sare oo dhigaal ah iyo sifooyin daahan oo sarreeya, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon wax-soo-saarka baaxadda leh.
Codsiyada sputtering magnetron:
- transistor filim khafiif ah
- Warbaahinta kaydinta magnetic
- Dahaarka qurxinta ee dhalada iyo birta
4. Ion beam sputtering
Ion beam sputtering (IBS) waa farsamo badan oo lagu daadiyo walxaha bartilmaameedka iyadoo la isticmaalayo alwaax ion ah. IBS waa mid si heer sare ah loo xakameyn karo, taasoo u oggolaanaysa xakamaynta dhumucda filimka saxda ah waxayna yaraynaysaa khasaaraha alaabta. Farsamadani waxay hubisaa isku-dhafka stoichiometric ahaan sax ah iyo heerarka faddarayn hooseeya. Iyada oo la mid ahaanshaha filimka aadka u wanaagsan iyo xulashada ballaaran ee agabka bartilmaameedka ah, IBS waxay soo saari kartaa filimo siman oo aan cillad lahayn, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon codsiyada gaarka ah.
Codsiyada Ion Beam Sputtering:
- muraayadda raajada
- filtarrada indhaha
- Xiro-ka-hortagga iyo dahaarka jilicsan ee hooseeya
gabagabadii
Dunida tignoolajiyada sputtering waa mid aad u ballaaran oo kala duwan, oo siinaya injineerada iyo cilmi-baarayaasha fursado badan oo loogu talagalay dhigista filimada khafiifka ah. Aqoonta noocyada kala duwan ee farsamooyinka sputtering iyo codsiyadooda ayaa lagama maarmaan u ah si loo gaaro sifooyinka filimka khafiifka ah ee ugu fiican iyadoo loo eegayo shuruudo gaar ah. Laga soo bilaabo qulqulka fudud ee DC ilaa ion beam sputtering saxda ah, hab kastaa wuxuu door muhiim ah ka ciyaaraa warshado badan, isagoo gacan ka geysanaya horumarinta tignoolajiyada gees-goynta.
Fahamka horumarkii ugu dambeeyay ee tignoolajiyada sputtering, waxaan ka faa'iidaysan karnaa awoodda filimada khafiifka ah si aan u daboolno baahida sii kordheysa ee warshadaha casriga ah. Haddi ay ahaan lahayd qalabka elektaroonigga ah, optoelectronics ama agabka horumarsan, tignoolajiyada sputtering ayaa sii wadi doonta qaabaynta qaabka aan u nashqadeyno una soo saarno tignoolajiyada berrito.
Waqtiga boostada: Agoosto-15-2023