I le fanua o le teuina o ata manifinifi, sputtering tekinolosi ua avea o se auala faʻaaogaina lautele e ausia saʻo ma toniga manifinifi ata tifaga i alamanuia eseese. O le faʻaogaina ma le faʻamaoni o nei tekinolosi faʻalauteleina a latou talosaga, faʻatagaina inisinia ma tagata suʻesuʻe e faʻafetaui ata manifinifi mo faʻamoemoega faʻapitoa. I totonu o lenei blog post, o le a tatou vaʻavaʻai loloto i ituaiga eseese o tekinolosi sputtering e masani ona faʻaaogaina i aso nei, faʻamatalaina o latou uiga tulaga ese, aoga ma faʻaoga.
1. DC sputtering
DC sputtering o se tasi o auala sili ona fa'aogaina ma fa'aoga lautele i le teuina o ata manifinifi. O le fa'agasologa e aofia ai le fa'aaogaina o se puna eletise DC e fa'atupuina ai se fa'avevela i totonu o se si'osi'omaga kasa maualalo. O ion lelei i totonu o le plasma e osofaʻia mea faʻatatau, faʻateʻaina atomu ma tuʻu i luga o le meaʻai. DC sputtering ua lauiloa ona o lona faigofie, taugofie, ma le gafatia e teu ai ata manifinifi maualuga maualuga i luga o mea eseese, e aofia ai tioata, ceramics, ma metals.
Talosaga o le DC sputtering:
- Semiconductor gaosiga
- Fa'apipi'i mata
- Tiifi manifinifi sela sola
2. Leitio Auala ma Reactive Sputtering
Leitio Vaalele (RF) sputtering o se RF malosi fesoasoani fesuiaiga o DC sputtering. I lenei auala, o le mea fa'atatau o lo'o tu'ia i ions e fa'atupuina e alaleo eletise eletise. O le i ai o se fanua RF e faʻaleleia ai le faʻagasologa o le ionization, e mafai ai ona sili atu le saʻo o le pulea o le tuufaatasiga o le ata. I le isi itu, o le fa'afoliga fa'afoliga, e aofia ai le fa'aofiina o se kasa fa'afoliga, e pei o le nitrogen po'o le okesene, i totonu o le potu fa'afefe. O le mea lea e mafai ai ona fausia ni ata manifinifi o mea fa'afefiloi, e pei o oxides po'o nitride, fa'atasi ai ma meatotino fa'aleleia atili.
Talosaga o RF ma Reactive Sputtering:
- Faʻapipiʻi faʻafefete
- Semiconductor pa puipui
- Ta'iala fa'amatagofie
3. Sputtering Magnetron
Magnetron sputtering o se filifiliga lauiloa mo le teuina maualuga. O lenei tekinolosi e fa'aogaina ai se maneta e lata ane i le pito i luga e fa'atuputeleina ai le mamafa o le plasma, e maua ai le maualuga o le fa'a'ona o le ionization ma sili ona lelei le pipii o ata manifinifi. O le fa'aopoopoga o le mageta e fa'agata ai le plasma latalata i le fa'amoemoe, fa'aitiitia ai le taumafaina fa'atatau pe a fa'atusatusa i auala masani o le sputtering. Magnetron sputtering e fa'amautinoa ai le maualuga o le fa'aputuina o le fa'aputuina ma le maualuga o mea fa'apipi'i, ma fa'amalieina mo le gaosiga tetele.
Fa'aaogāga o le fa'aoso o le magnetron:
- transistor ata tifaga manifinifi
- Fa'asalalauga fa'apipi'i maneta
- Fa'aofuofu teuteu i luga o tioata ma u'amea
4. Ion beam sputtering
Ion beam sputtering (IBS) ose auala tele mo le sputtering mea fa'atatau i le fa'aogaina o le ion beam. O le IBS e sili ona fa'atonuina, fa'ataga tonu le fa'atonutonuina o le mafiafia o ata ma fa'aitiitia mea e leiloa. O lenei tekinolosi fa'amautinoaina le sa'o sa'o stoichiometric ma le maualalo o le fa'aleagaina. Faatasi ai ma lona tulaga lelei ata tifaga ma le tele o filifiliga o mea e faʻatatau i ai, e mafai e le IBS ona gaosia ata tifaga lamolemole, leai se faʻaletonu, ma faʻaoga talafeagai mo faʻaoga faʻapitoa.
Fa'aoga o le Ion Beam Sputtering:
- Fa'ata X-ray
- Filifiliga mata'utia
- Fa'alavalava fa'alavalava ma fa'a'ese'ese maualalo
i le faaiuga
Ole lalolagi ole fa'atekonolosi e tele ma eseese, e ofoina atu i inisinia ma tagata su'esu'e le tele o avanoa mo le teuina o ata manifinifi. O le malamalama i ituaiga eseese o le sputtering techniques ma a latou talosaga e taua tele ina ia ausia ai mea sili ona lelei ata tifaga e tusa ai ma manaoga faapitoa. Mai le fa'afefeteina o le DC faigofie i le sa'o o le ion beam sputtering, o metotia ta'itasi e iai sona sao taua i le tele o alamanuia, e saofagā i le alualu i luma o tekonolosi fa'aonaponei.
E ala i le malamalama i atinaʻe lata mai i le faʻaogaina o tekonolosi, e mafai ona tatou faʻaogaina le malosi o ata manifinifi e faʻafetaui ai le faʻatupulaia o manaʻoga o pisinisi faʻaonaponei. Pe i mea tau eletise, optoelectronics poʻo mea faʻapitoa, o le sputtering technology o loʻo faʻaauau pea ona faʻaogaina le auala tatou te mamanuina ma gaosia ai tekinolosi a taeao.
Taimi meli: Aukuso-15-2023