Oprema za vakuumsko nanašanje premazov je vrsta tehnologije nanašanja tankih filmov v vakuumskem okolju, ki se pogosto uporablja v elektroniki, optiki, znanosti o materialih, energetiki in tako naprej. Oprema za vakuumsko nanašanje premazov je sestavljena predvsem iz naslednjih delov:
Vakuumska komora: To je osrednji del opreme za vakuumsko nanašanje premazov, v katerem se izvajajo vsi postopki nanašanja premazov. Vakuumska komora mora biti sposobna prenesti vakuumsko okolje in ohranjati dobro tesnjenje.
Vakuumska črpalka: Uporablja se za odsesavanje zraka iz vakuumske komore za ustvarjanje vakuumskega okolja. Med običajne vakuumske črpalke spadajo mehanske črpalke in molekularne črpalke.
Vir izhlapevanja: Uporablja se za segrevanje in izhlapevanje premaznega materiala. Vir izhlapevanja je lahko uporovno segrevanje, segrevanje z elektronskim žarkom, lasersko segrevanje in tako naprej.
Okvir za nanašanje (držalo substrata): uporablja se za namestitev substrata, ki ga je treba premazati. Držalo substrata je mogoče vrteti ali premikati, da se zagotovi enakomernost premaza.
Krmilni sistem: Uporablja se za nadzor celotnega postopka nanašanja premaza, vključno z zagonom in zaustavitvijo vakuumske črpalke, nadzorom temperature vira izhlapevanja in nastavitvijo hitrosti nanašanja.
Merilna in nadzorna oprema: Uporablja se za spremljanje ključnih parametrov v procesu nanašanja premaza v realnem času, kot so stopnja vakuuma, temperatura, hitrost nanašanja itd.
Sistem napajanja: za zagotavljanje potrebne moči za opremo za vakuumsko nanašanje premazov.
Hladilni sistem: uporablja se za hlajenje vakuumske komore in drugih komponent, ki ustvarjajo toploto, da se zagotovi normalno delovanje opreme.
Učinkovita koordinacija teh komponent omogoča opremi za vakuumsko nanašanje natančen nadzor debeline, sestave in strukture filma, da zadosti različnim industrijskim in znanstvenim potrebam.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 27. julij 2024