Оборудование для вакуумного напыления представляет собой технологию осаждения тонких пленок в вакуумной среде, которая широко используется в электронике, оптике, материаловедении, энергетике и т. д. Оборудование для вакуумного напыления в основном состоит из следующих частей:
Вакуумная камера: Это основная часть оборудования для вакуумного покрытия, в которой выполняются все процессы нанесения покрытия. Вакуумная камера должна выдерживать вакуумную среду и сохранять хорошую герметичность.
Вакуумный насос: используется для извлечения воздуха из вакуумной камеры для создания вакуумной среды. Обычные вакуумные насосы включают механические насосы и молекулярные насосы.
Источник испарения: используется для нагрева и испарения материала покрытия. Источником испарения может быть резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, лазерный нагрев и т. д.
Рама осаждения (держатель подложки): используется для размещения подложки, на которую наносится покрытие. Держатель подложки можно вращать или перемещать, чтобы обеспечить равномерность покрытия.
Система управления: используется для управления всем процессом нанесения покрытия, включая запуск и остановку вакуумного насоса, контроль температуры источника испарения и регулировку скорости осаждения.
Измерительное и контрольное оборудование: используется для мониторинга ключевых параметров процесса нанесения покрытия в режиме реального времени, таких как степень вакуума, температура, скорость осаждения и т. д.
Система электроснабжения: для обеспечения необходимой мощности для вакуумного напылительного оборудования.
Система охлаждения: используется для охлаждения вакуумной камеры и других тепловыделяющих компонентов для обеспечения нормальной работы оборудования.
Эффективная координация этих компонентов позволяет оборудованию для вакуумного нанесения покрытий точно контролировать толщину, состав и структуру пленки для удовлетворения различных промышленных и научных потребностей.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 27 июля 2024 г.