Echipamentul de acoperire în vid este un tip de tehnologie de depunere a peliculelor subțiri într-un mediu de vid, utilizată pe scară largă în electronică, optică, știința materialelor, energie și așa mai departe. Echipamentul de acoperire în vid este compus în principal din următoarele părți:
Camera de vid: Aceasta este partea centrală a echipamentului de acoperire în vid, în care se desfășoară toate procesele de acoperire. Camera de vid trebuie să fie capabilă să reziste mediului de vid și să mențină o bună etanșare.
Pompă de vid: Este utilizată pentru a extrage aerul din interiorul camerei de vid pentru a crea un mediu de vid. Pompele de vid comune includ pompe mecanice și pompe moleculare.
Sursă de evaporare: Folosită pentru încălzirea și evaporarea materialului de acoperire. Sursa de evaporare poate fi încălzirea prin rezistență, încălzirea cu fascicul de electroni, încălzirea cu laser și așa mai departe.
Cadru de depunere (Suport substrat): utilizat pentru așezarea substratului care urmează să fie acoperit. Suportul substratului poate fi rotit sau mutat pentru a asigura uniformitatea acoperirii.
Sistem de control: Folosit pentru a controla întregul proces de acoperire, inclusiv pornirea și oprirea pompei de vid, controlul temperaturii sursei de evaporare și reglarea ratei de depunere.
Echipamente de măsurare și monitorizare: utilizate pentru monitorizarea parametrilor cheie din procesul de acoperire în timp real, cum ar fi gradul de vid, temperatura, rata de depunere etc.
Sistem de alimentare cu energie electrică: pentru a furniza energia necesară echipamentului de acoperire în vid.
Sistem de răcire: utilizat pentru răcirea camerei de vid și a altor componente generatoare de căldură pentru a asigura funcționarea normală a echipamentului.
Coordonarea eficientă a acestor componente permite echipamentului de acoperire în vid să controleze cu precizie grosimea, compoziția și structura peliculei pentru a satisface o varietate de nevoi industriale și științifice.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 27 iulie 2024