O equipamento de revestimento a vácuo é um tipo de tecnologia de deposição de película fina em ambiente de vácuo, amplamente utilizada em eletrônica, óptica, ciência de materiais, energia e outros setores. O equipamento de revestimento a vácuo é composto principalmente pelas seguintes partes:
Câmara de Vácuo: Esta é a parte central do equipamento de revestimento a vácuo, onde todos os processos de revestimento são realizados. A câmara de vácuo deve ser capaz de suportar o ambiente de vácuo e manter uma boa vedação.
Bomba de vácuo: É usada para extrair o ar de dentro da câmara de vácuo para criar um ambiente de vácuo. Bombas de vácuo comuns incluem bombas mecânicas e bombas moleculares.
Fonte de Evaporação: Utilizada para aquecer e evaporar o material de revestimento. A fonte de evaporação pode ser aquecimento por resistência, aquecimento por feixe de elétrons, aquecimento a laser, entre outras.
Estrutura de deposição (Suporte de Substrato): utilizada para posicionar o substrato a ser revestido. O suporte de substrato pode ser girado ou movido para garantir a uniformidade do revestimento.
Sistema de controle: usado para controlar todo o processo de revestimento, incluindo o início e a parada da bomba de vácuo, o controle de temperatura da fonte de evaporação e o ajuste da taxa de deposição.
Equipamentos de medição e monitoramento: usados para monitorar os principais parâmetros no processo de revestimento em tempo real, como grau de vácuo, temperatura, taxa de deposição, etc.
Sistema de alimentação elétrica: para fornecer a energia necessária para o equipamento de revestimento a vácuo.
Sistema de resfriamento: usado para resfriar a câmara de vácuo e outros componentes geradores de calor para garantir o funcionamento normal do equipamento.
A coordenação eficaz desses componentes permite que o equipamento de revestimento a vácuo controle com precisão a espessura, a composição e a estrutura do filme para atender a uma variedade de necessidades industriais e científicas.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 27 de julho de 2024