Sprzęt do powlekania próżniowego to rodzaj technologii osadzania cienkich warstw w środowisku próżniowym, który jest szeroko stosowany w elektronice, optyce, materiałoznawstwie, energetyce itd. Sprzęt do powlekania próżniowego składa się głównie z następujących części:
Komora próżniowa: Jest to podstawowa część wyposażenia do powlekania próżniowego, w której przeprowadzane są wszystkie procesy powlekania. Komora próżniowa musi być w stanie wytrzymać środowisko próżniowe i zachować dobre uszczelnienie.
Pompa próżniowa: Służy do wyciągania powietrza z komory próżniowej w celu stworzenia środowiska próżniowego. Typowe pompy próżniowe obejmują pompy mechaniczne i pompy molekularne.
Źródło parowania: Służy do ogrzewania i odparowywania materiału powłoki. Źródłem parowania może być ogrzewanie oporowe, ogrzewanie wiązką elektronów, ogrzewanie laserowe itd.
Rama osadzania (uchwyt podłoża): służy do umieszczania podłoża, które ma zostać pokryte. Uchwyt podłoża można obracać lub przesuwać, aby zapewnić jednorodność powłoki.
Układ sterowania: Służy do sterowania całym procesem powlekania, w tym uruchamiania i zatrzymywania pompy próżniowej, sterowania temperaturą źródła parowania oraz regulacji szybkości osadzania.
Sprzęt pomiarowy i monitorujący: Służy do monitorowania kluczowych parametrów procesu powlekania w czasie rzeczywistym, takich jak stopień podciśnienia, temperatura, szybkość osadzania itp.
Układ zasilania: zapewnia niezbędną moc dla urządzeń do powlekania próżniowego.
Układ chłodzenia: służy do chłodzenia komory próżniowej i innych podzespołów generujących ciepło, zapewniając normalną pracę urządzenia.
Dzięki skutecznej koordynacji tych komponentów urządzenia do powlekania próżniowego mogą precyzyjnie kontrolować grubość, skład i strukturę powłoki, co pozwala sprostać różnorodnym potrzebom przemysłowym i naukowym.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 27-07-2024