ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ହେଉଛି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଏକ ପ୍ରକାରର ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଯାହା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅପ୍ଟିକ୍ସ, ସାମଗ୍ରୀ ବିଜ୍ଞାନ, ଶକ୍ତି ଇତ୍ୟାଦିରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ଗଠିତ:
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର: ଏହା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣର ମୂଳ ଅଂଶ, ଯେଉଁଥିରେ ସମସ୍ତ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମ୍ପାଦିତ ହୁଏ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରଟି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶକୁ ସହ୍ୟ କରିବା ଏବଂ ଭଲ ସିଲିଂ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ ସକ୍ଷମ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ।
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପ: ଏହାକୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଭିତରେ ବାୟୁ ବାହାର କରି ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ସାଧାରଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପରେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପମ୍ପ ଏବଂ ଆଣବିକ ପମ୍ପ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ: ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଗରମ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭବନ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ ପ୍ରତିରୋଧ ଗରମ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ବିମ୍ ଗରମ, ଲେଜର ଗରମ ଇତ୍ୟାଦି ହୋଇପାରେ।
ଜମା ଫ୍ରେମ୍ (ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ହୋଲ୍ଡର୍): ଆବରଣ ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ରଖିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଆବରଣର ସମାନତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ହୋଲ୍ଡର୍ ଘୂରାଯାଇପାରିବ କିମ୍ବା ଘୁଞ୍ଚାଇ ଦିଆଯାଇପାରିବ।
ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଣାଳୀ: ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେଉଁଥିରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପମ୍ପର ଆରମ୍ଭ ଏବଂ ବନ୍ଦ, ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସର ତାପମାତ୍ରା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଜମା ହାରର ସମାୟୋଜନ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ମାପ ଏବଂ ନିରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ: ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ମୁଖ୍ୟ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରକୃତ ସମୟରେ ନିରୀକ୍ଷଣ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀ, ତାପମାତ୍ରା, ଜମା ହାର, ଇତ୍ୟାଦି।
ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ବ୍ୟବସ୍ଥା: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଶକ୍ତି ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ।
ଶୀତଳୀକରଣ ପ୍ରଣାଳୀ: ଉପକରଣର ସାଧାରଣ କାର୍ଯ୍ୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ତାପ ସୃଷ୍ଟିକାରୀ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଥଣ୍ଡା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଏହି ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ସମନ୍ୱୟ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ବୈଜ୍ଞାନିକ ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଫିଲ୍ମର ଘନତା, ଗଠନ ଏବଂ ଗଠନକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୨୭-୨୦୨୪