ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କ୍ଷେତ୍ରରେ, ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ସଠିକ୍ ଏବଂ ସମାନ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ପଦ୍ଧତି ପାଲଟିଛି। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାଗୁଡ଼ିକର ବହୁମୁଖୀତା ଏବଂ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରୟୋଗକୁ ବିସ୍ତାର କରେ, ଯାହା ଇଞ୍ଜିନିୟର ଏବଂ ଗବେଷକମାନଙ୍କୁ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ପାଇଁ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ। ଏହି ବ୍ଲଗ୍ ପୋଷ୍ଟରେ, ଆମେ ଆଜି ସାଧାରଣତଃ ବ୍ୟବହୃତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉପରେ ଗଭୀର ଭାବରେ ନଜର ପକାଇବୁ, ସେମାନଙ୍କର ଅନନ୍ୟ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ, ଲାଭ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିବୁ।
୧. ଡିସି ସ୍ପଟରିଂ
ଡିସି ସ୍ପଟରିଂ ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ମୌଳିକ ଏବଂ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କୌଶଳ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଏକ କମ୍ ଚାପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ ପରିବେଶରେ ଏକ ଚମକ ନିର୍ଗତ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଡିସି ପାୱାର ସୋର୍ସ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ପ୍ଲାଜମାରେ ଥିବା ସକାରାତ୍ମକ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରନ୍ତି, ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ବାହାର କରି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କରନ୍ତି। ଡିସି ସ୍ପଟରିଂ ଏହାର ସରଳତା, ମୂଲ୍ୟ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମତା ଏବଂ କାଚ, ମାଟି ଏବଂ ଧାତୁ ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବାର କ୍ଷମତା ପାଇଁ ଜଣାଶୁଣା।
ଡିସି ସ୍ପଟରିଂର ପ୍ରୟୋଗ:
- ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ
- ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ
- ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସୌର କୋଷ
୨. ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ
ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (RF) ସ୍ପଟରିଂ ହେଉଛି DC ସ୍ପଟରିଂର ଏକ RF ପାୱାର ଆସିଷ୍ଟେଡ୍ ପ୍ରକାର। ଏହି ପଦ୍ଧତିରେ, ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଶକ୍ତି ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ବୋମା ପକେଇଥାଏ। ଏକ RF କ୍ଷେତ୍ରର ଉପସ୍ଥିତି ଆୟନାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ, ଯାହା ଫିଲ୍ମର ଗଠନର ଅଧିକ ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ। ଅନ୍ୟପକ୍ଷରେ, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂରେ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ କିମ୍ବା ଅମ୍ଳଜାନ ଭଳି ଏକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍, ସ୍ପଟରିଂ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରବେଶ କରାଇବା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହା ବର୍ଦ୍ଧିତ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣ ସହିତ ଅକ୍ସାଇଡ୍ କିମ୍ବା ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଭଳି ଯୌଗିକଗୁଡ଼ିକର ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
RF ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂର ପ୍ରୟୋଗ:
- ପ୍ରତିଫଳନ-ପ୍ରତିଫଳନ ଆବରଣ
- ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ବାଧା
- ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ୱେଭଗାଇଡ୍ସ
୩. ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ
ଉଚ୍ଚ-ହାର ଜମା ପାଇଁ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଏକ ଲୋକପ୍ରିୟ ପସନ୍ଦ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପ୍ଲାଜ୍ମା ଘନତ୍ୱ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠ ନିକଟରେ ଏକ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଅଧିକ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଆଡ୍ଜେସନ୍ ହୋଇଥାଏ। ଅତିରିକ୍ତ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ଲାଜ୍ମାକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପାଖରେ ସୀମିତ କରିଥାଏ, ପାରମ୍ପରିକ ସ୍ପଟରିଂ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ ଲକ୍ଷ୍ୟ ବ୍ୟବହାର ହ୍ରାସ କରିଥାଏ। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଆବରଣ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ, ଏହାକୁ ବଡ଼-ସ୍ତରର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ।
ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂର ପ୍ରୟୋଗ:
- ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର
- ଚୁମ୍ବକୀୟ ସଂରକ୍ଷଣ ମାଧ୍ୟମ
- କାଚ ଏବଂ ଧାତୁ ଉପରେ ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ
୪. ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂ
ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂ (IBS) ହେଉଛି ଏକ ଆୟନ ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି ଟାର୍ଗେଟ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସ୍ପଟର କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବହୁମୁଖୀ କୌଶଳ। IBS ଅତ୍ୟନ୍ତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟ, ଯାହା ସଠିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ କ୍ଷତିକୁ କମ କରିଥାଏ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଷ୍ଟୋଇକିଓମେଟ୍ରିକାଲି ସଠିକ୍ ରଚନା ଏବଂ କମ୍ ପ୍ରଦୂଷଣ ସ୍ତର ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏହାର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ସମାନତା ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ ସାମଗ୍ରୀର ବିସ୍ତୃତ ଚୟନ ସହିତ, IBS ମସୃଣ, ତ୍ରୁଟିମୁକ୍ତ ଫିଲ୍ମ ଉତ୍ପାଦନ କରିପାରିବ, ଯାହା ଏହାକୁ ବିଶେଷ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ।
ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂର ପ୍ରୟୋଗ:
- ଏକ୍ସ-ରେ ଦର୍ପଣ
- ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଫିଲ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ
- ପିନ୍ଧିବା ପ୍ରତିରୋଧୀ ଏବଂ କମ୍ ଘର୍ଷଣ ଆବରଣ
ନିଷ୍କର୍ଷରେ
ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଜଗତ ବିଶାଳ ଏବଂ ବିବିଧ, ଇଞ୍ଜିନିୟର ଏବଂ ଗବେଷକମାନଙ୍କୁ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ପାଇଁ ଅନେକ ସମ୍ଭାବନା ପ୍ରଦାନ କରେ। ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ସର୍ବୋତ୍ତମ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗୁଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସ୍ପଟରିଂ କୌଶଳ ଏବଂ ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରୟୋଗ ବିଷୟରେ ଜ୍ଞାନ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ। ସରଳ ଡିସି ସ୍ପଟରିଂ ଠାରୁ ସଠିକ୍ ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ପ୍ରତ୍ୟେକ ପଦ୍ଧତି ଅନେକ ଶିଳ୍ପରେ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ, ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ଉନ୍ନତିରେ ଯୋଗଦାନ କରେ।
ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାର ନୂତନତମ ବିକାଶକୁ ବୁଝିବା ଦ୍ୱାରା, ଆମେ ଆଧୁନିକ ଶିଳ୍ପର ବର୍ଦ୍ଧିତ ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ପତଳା ଫିଲ୍ମର ଶକ୍ତିକୁ ବ୍ୟବହାର କରିପାରିବା। ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ କିମ୍ବା ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀ ହେଉ, ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଆମେ ଆସନ୍ତାକାଲିର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ କରିବାର ଉପାୟକୁ ଆକାର ଦେଇ ଚାଲିଛି।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୧୫-୨୦୨୩