Vakuumbeleggsutstyr er en type tynnfilmavsetningsteknologi i et vakuummiljø, som er mye brukt innen elektronikk, optikk, materialvitenskap, energi og så videre. Vakuumbeleggsutstyr består hovedsakelig av følgende deler:
Vakuumkammer: Dette er kjernedelen av vakuumbeleggsutstyret, der alle beleggprosessene utføres. Vakuumkammeret må kunne tåle vakuummiljøet og opprettholde god tetting.
Vakuumpumpe: Den brukes til å trekke ut luften inne i vakuumkammeret for å skape et vakuummiljø. Vanlige vakuumpumper inkluderer mekaniske pumper og molekylære pumper.
Fordampningskilde: Brukes til å varme opp og fordampe beleggmaterialet. Fordampningskilden kan være motstandsoppvarming, elektronstråleoppvarming, laseroppvarming og så videre.
Avsetningsramme (substratholder): brukes til å plassere substratet som skal belegges. Substratholderen kan roteres eller flyttes for å sikre jevn belegg.
Kontrollsystem: Brukes til å kontrollere hele belegningsprosessen, inkludert start og stopp av vakuumpumpen, temperaturkontroll av fordampningskilden og justering av avsetningshastigheten.
Måle- og overvåkingsutstyr: Brukes til å overvåke nøkkelparametrene i belegningsprosessen i sanntid, som vakuumgrad, temperatur, avsetningshastighet osv.
Strømforsyningssystem: for å gi den nødvendige strømmen til vakuumbeleggutstyret.
Kjølesystem: brukes til å kjøle ned vakuumkammeret og andre varmegenererende komponenter for å sikre normal drift av utstyret.
Den effektive koordineringen av disse komponentene gjør det mulig for vakuumbeleggsutstyret å kontrollere filmens tykkelse, sammensetning og struktur presist for å møte en rekke industrielle og vitenskapelige behov.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 27. juli 2024