Vacuümcoatingapparatuur is een soort dunnefilmdepositietechnologie in een vacuümomgeving, die veel wordt gebruikt in de elektronica, optica, materiaalkunde, energie, enzovoort. Vacuümcoatingapparatuur bestaat voornamelijk uit de volgende onderdelen:
Vacuümkamer: Dit is het kernonderdeel van de vacuümcoatingapparatuur, waarin alle coatingprocessen plaatsvinden. De vacuümkamer moet bestand zijn tegen de vacuümomgeving en een goede afdichting behouden.
Vacuümpomp: Deze wordt gebruikt om de lucht uit de vacuümkamer te zuigen en zo een vacuümomgeving te creëren. Veelgebruikte vacuümpompen zijn mechanische pompen en moleculaire pompen.
Verdampingsbron: Wordt gebruikt om het coatingmateriaal te verwarmen en te verdampen. Verdampingsbronnen kunnen weerstandsverwarming, elektronenbundelverwarming, laserverwarming, enzovoort zijn.
Depositieframe (substraathouder): wordt gebruikt om het te coaten substraat te plaatsen. De substraathouder kan worden gedraaid of verplaatst om een gelijkmatige coating te garanderen.
Besturingssysteem: Wordt gebruikt om het volledige coatingproces te regelen, inclusief het starten en stoppen van de vacuümpomp, de temperatuurregeling van de verdampingsbron en de aanpassing van de afzettingssnelheid.
Meet- en controleapparatuur: Wordt gebruikt om de belangrijkste parameters in het coatingproces in realtime te controleren, zoals vacuümgraad, temperatuur, afzettingssnelheid, enz.
Energievoorzieningssysteem: levert de benodigde stroom voor de vacuümcoatingsapparatuur.
Koelsysteem: wordt gebruikt om de vacuümkamer en andere warmtegenererende componenten te koelen om de normale werking van de apparatuur te garanderen.
De effectieve coördinatie van deze componenten zorgt ervoor dat de vacuümcoatingapparatuur de dikte, samenstelling en structuur van de film nauwkeurig kan regelen en zo kan voldoen aan uiteenlopende industriële en wetenschappelijke behoeften.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 27-07-2024