It-tagħmir tal-kisi bil-vakwu huwa tip ta' teknoloġija ta' depożizzjoni ta' film irqiq f'ambjent bil-vakwu, li tintuża ħafna fl-elettronika, l-ottika, ix-xjenza tal-materjali, l-enerġija, eċċ. It-tagħmir tal-kisi bil-vakwu huwa magħmul prinċipalment mill-partijiet li ġejjin:
Kamra tal-Vakwu: Din hija l-parti ċentrali tat-tagħmir tal-kisi bil-vakwu, fejn jitwettqu l-proċessi kollha tal-kisi. Il-kamra tal-vakwu trid tkun kapaċi tiflaħ l-ambjent tal-vakwu u żżomm siġillar tajjeb.
Pompa tal-Vakwu: Din tintuża biex tiġbed l-arja ġewwa l-kompartiment tal-vakwu biex toħloq ambjent tal-vakwu. Pompi tal-vakwu komuni jinkludu pompi mekkaniċi u pompi molekulari.
Sors ta' Evaporazzjoni: Użat biex isaħħan u jevapora l-materjal tal-kisi. Is-sors ta' evaporazzjoni jista' jkun tisħin b'reżistenza, tisħin b'raġġ ta' elettroni, tisħin bil-lejżer, eċċ.
Qafas ta' Depożizzjoni (Detentur tas-Sottostrat): użat biex jitqiegħed is-sottostrat li għandu jiġi miksi. Id-detentur tas-sottostrat jista' jiġi mdawwar jew imċaqlaq biex tiġi żgurata l-uniformità tal-kisi.
Sistema ta' Kontroll: Użata biex tikkontrolla l-proċess kollu tal-kisi, inkluż il-bidu u t-tmiem tal-pompa tal-vakwu, il-kontroll tat-temperatura tas-sors tal-evaporazzjoni, u l-aġġustament tar-rata tad-depożizzjoni.
Tagħmir tal-kejl u l-monitoraġġ: Użat biex jimmonitorja l-parametri ewlenin fil-proċess tal-kisi f'ħin reali, bħal-grad tal-vakwu, it-temperatura, ir-rata ta' depożizzjoni, eċċ.
Sistema tal-provvista tal-enerġija: biex tipprovdi l-enerġija meħtieġa għat-tagħmir tal-kisi bil-vakwu.
Sistema ta' tkessiħ: użata biex tkessaħ il-kamra tal-vakwu u komponenti oħra li jiġġeneraw is-sħana biex tiżgura t-tħaddim normali tat-tagħmir.
Il-koordinazzjoni effettiva ta' dawn il-komponenti tippermetti lit-tagħmir tal-kisi bil-vakwu jikkontrolla b'mod preċiż il-ħxuna, il-kompożizzjoni u l-istruttura tal-film biex jissodisfa varjetà ta' ħtiġijiet industrijali u xjentifiċi.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 27 ta' Lulju 2024