Peralatan salutan vakum adalah sejenis teknologi pemendapan filem nipis dalam persekitaran vakum, yang digunakan secara meluas dalam elektronik, optik, sains bahan, tenaga dan sebagainya. Peralatan salutan vakum terutamanya terdiri daripada bahagian berikut:
Ruang Vakum: Ini adalah bahagian teras peralatan salutan vakum, di mana semua proses salutan dijalankan. Ruang vakum mesti dapat menahan persekitaran vakum dan mengekalkan pengedap yang baik.
Pam Vakum: Ia digunakan untuk mengekstrak udara di dalam kebuk vakum untuk mewujudkan persekitaran vakum. Pam vakum biasa termasuk pam mekanikal dan pam molekul.
Sumber Penyejatan: Digunakan untuk memanaskan dan menyejat bahan salutan. Sumber penyejatan boleh menjadi pemanasan rintangan, pemanasan rasuk elektron, pemanasan laser dan sebagainya.
Bingkai pemendapan (Pemegang Substrat): digunakan untuk meletakkan substrat yang akan disalut. Pemegang substrat boleh diputar atau digerakkan untuk memastikan keseragaman salutan.
Sistem Kawalan: Digunakan untuk mengawal keseluruhan proses salutan, termasuk permulaan dan penghentian pam vakum, kawalan suhu sumber penyejatan, dan pelarasan kadar pemendapan.
Peralatan pengukur dan pemantauan: Digunakan untuk memantau parameter utama dalam proses salutan dalam masa nyata, seperti darjah vakum, suhu, kadar pemendapan, dsb.
Sistem bekalan kuasa: untuk menyediakan kuasa yang diperlukan untuk peralatan salutan vakum.
Sistem penyejukan: digunakan untuk menyejukkan ruang vakum dan komponen penjana haba lain untuk memastikan operasi normal peralatan.
Penyelarasan berkesan komponen ini membolehkan peralatan salutan vakum mengawal ketebalan, komposisi dan struktur filem dengan tepat untuk memenuhi pelbagai keperluan industri dan saintifik.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jul-27-2024