Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь электроник, оптик, материал судлал, эрчим хүч гэх мэт салбарт өргөн хэрэглэгддэг вакуум орчинд нимгэн хальс хадгалах технологи юм. Вакуум бүрэх төхөөрөмж нь үндсэндээ дараах хэсгүүдээс бүрдэнэ.
Вакуум камер: Энэ нь вакуум бүрэх төхөөрөмжийн үндсэн хэсэг бөгөөд бүрэх бүх процесс явагддаг. Вакуум камер нь вакуум орчныг тэсвэрлэх чадвартай байх ёстой бөгөөд битүүмжлэл сайтай байх ёстой.
Вакуум насос: Вакуум орчныг бүрдүүлэхийн тулд вакуум камерын доторх агаарыг гаргаж авахад ашигладаг. Нийтлэг вакуум насосууд нь механик шахуурга ба молекулын шахуургууд юм.
Ууршилтын эх үүсвэр: Бүрэх материалыг халаах, ууршуулахад ашигладаг. Ууршилтын эх үүсвэр нь эсэргүүцлийн халаалт, электрон цацрагийн халаалт, лазер халаалт гэх мэт байж болно.
Хадгалах хүрээ (субстрат эзэмшигч): бүрэх субстратыг байрлуулахад ашигладаг. Бүрээсний жигд байдлыг хангахын тулд субстрат эзэмшигчийг эргүүлж эсвэл хөдөлгөж болно.
Хяналтын систем: Вакуум насосыг эхлүүлэх, зогсоох, ууршилтын эх үүсвэрийн температурын хяналт, тунадасжилтын хурдыг тохируулах зэрэг бүх бүрэх үйл явцыг хянахад ашигладаг.
Хэмжих, хянах төхөөрөмж: Вакуум зэрэг, температур, тунадасны хурд гэх мэт бүрэх үйл явцын гол үзүүлэлтүүдийг бодит цаг хугацаанд хянахад ашигладаг.
Цахилгаан хангамжийн систем: вакуум бүрэх төхөөрөмжид шаардлагатай эрчим хүчийг хангах.
Хөргөх систем: тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангахын тулд вакуум камер болон бусад дулаан үүсгэгч эд ангиудыг хөргөхөд ашигладаг.
Эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн үр дүнтэй зохицуулалт нь вакуум бүрэх төхөөрөмжид үйлдвэрлэлийн болон шинжлэх ухааны олон төрлийн хэрэгцээг хангахын тулд хальсны зузаан, найрлага, бүтцийг нарийн хянах боломжийг олгодог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 27