വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണ ഘടകങ്ങൾ

വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നത് വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കുന്ന ഒരു തരം സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്, ഇത് ഇലക്ട്രോണിക്സ്, ഒപ്റ്റിക്സ്, മെറ്റീരിയൽ സയൻസ്, ഊർജ്ജം തുടങ്ങിയവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ പ്രധാനമായും ഇനിപ്പറയുന്ന ഭാഗങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു:

വാക്വം ചേമ്പർ: എല്ലാ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളും നടക്കുന്ന വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ കാതലായ ഭാഗമാണിത്. വാക്വം ചേമ്പറിന് വാക്വം പരിസ്ഥിതിയെ നേരിടാനും നല്ല സീലിംഗ് നിലനിർത്താനും കഴിയണം.

വാക്വം പമ്പ്: വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിലെ വായു വേർതിരിച്ചെടുത്ത് ഒരു വാക്വം പരിസ്ഥിതി സൃഷ്ടിക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു. സാധാരണ വാക്വം പമ്പുകളിൽ മെക്കാനിക്കൽ പമ്പുകളും മോളിക്യുലാർ പമ്പുകളും ഉൾപ്പെടുന്നു.

ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ്: കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ചൂടാക്കാനും ബാഷ്പീകരിക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു. ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് റെസിസ്റ്റൻസ് ഹീറ്റിംഗ്, ഇലക്ട്രോൺ ബീം ഹീറ്റിംഗ്, ലേസർ ഹീറ്റിംഗ് തുടങ്ങിയവ ആകാം.

ഡിപ്പോസിഷൻ ഫ്രെയിം (സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഹോൾഡർ): പൂശേണ്ട അടിവസ്ത്രം സ്ഥാപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. കോട്ടിംഗിന്റെ ഏകീകൃതത ഉറപ്പാക്കാൻ അടിവസ്ത്ര ഹോൾഡർ തിരിക്കുകയോ നീക്കുകയോ ചെയ്യാം.

നിയന്ത്രണ സംവിധാനം: വാക്വം പമ്പിന്റെ ആരംഭവും നിർത്തലും, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിന്റെ താപനില നിയന്ത്രണം, നിക്ഷേപ നിരക്കിന്റെ ക്രമീകരണം എന്നിവയുൾപ്പെടെ മുഴുവൻ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയും നിയന്ത്രിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

അളക്കുന്നതിനും നിരീക്ഷിക്കുന്നതിനുമുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ: വാക്വം ഡിഗ്രി, താപനില, നിക്ഷേപ നിരക്ക് മുതലായ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിലെ പ്രധാന പാരാമീറ്ററുകൾ തത്സമയം നിരീക്ഷിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പവർ സപ്ലൈ സിസ്റ്റം: വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ആവശ്യമായ പവർ നൽകുന്നതിന്.

കൂളിംഗ് സിസ്റ്റം: ഉപകരണങ്ങളുടെ സാധാരണ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കാൻ വാക്വം ചേമ്പറും മറ്റ് താപ ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്ന ഘടകങ്ങളും തണുപ്പിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഈ ഘടകങ്ങളുടെ ഫലപ്രദമായ ഏകോപനം, വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളെ വിവിധ വ്യാവസായിക, ശാസ്ത്രീയ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ഫിലിമിന്റെ കനം, ഘടന, ഘടന എന്നിവ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാൻ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ