Магнетронско распрскувачко оптичко во линија вакуумско премачкување е напредна технологија што се користи за нанесување тенки филмови на различни подлоги, кои најчесто се користат во индустрии како што се оптика, електроника и наука за материјали. Следново е детален преглед:
Компоненти и карактеристики:
1. извор на магнетронско распрскување:
Магнетрон се користи за генерирање на плазма со висока густина.
Целниот материјал (изворот) е бомбардиран со јони, што резултира со исфрлање (распрскување) на атомите и нивно таложење на подлогата.
Магнетронот може да биде дизајниран за работа со еднонасочна струја, пулсирана еднонасочна струја или RF (радиофреквентна) работа, во зависност од материјалот што се распрскува.
2. Во линија систем:
Подлогата се движи континуирано или прогресивно низ комората за обложување.
Овозможува производство со висок проток и рамномерно премачкување на големи површини.
Типично се користи за обложување на стаклени, пластични или метални листови во процеси на ролна-до-ролна или рамна површина.
3. вакуумска комора:
Одржува контролирана средина со низок притисок за да се олесни распрснувањето.
- Спречува контаминација и обезбедува висока чистота на наталожените филмови.
- Обично опремени со брави за товарење за да се минимизира изложеноста на атмосферски услови за време на товарење и истовар на подлогата.
4. можности за оптичко обложување:
- Специјално дизајнирани за производство на оптички премази како што се антирефлективни премази, огледала, филтри и разделувачи на зраци.
- Овозможува прецизна контрола на дебелината и униформноста на филмот, што е клучно за оптичките апликации.
5. системи за контрола на процеси:
- Напредни системи за мониторинг и повратна информација за контрола на параметри како што се моќност, притисок и брзина на подлогата.
- Дијагностика на лице место за мерење на својствата на филмот за време на нанесувањето за да се обезбеди квалитет и конзистентност.
Апликации:
1. Оптика:
- Обложување на леќи, огледала и други оптички компоненти за подобрување на перформансите.
- Произведува повеќеслојни премази за интерферентни филтри и други сложени оптички уреди.
2. Електроника:
- Тенкофилмни транзистори, сензори и други електронски уреди.
- Транспарентни спроводливи премази за дисплеи и екрани на допир. 3.
3. соларни панели:
- Антирефлективни и спроводливи премази за подобрена ефикасност.
- Капсулирани слоеви за издржливост.
4. декоративни премази:
- Обложување на накит, часовници и други предмети за естетски цели.
Предности:
1. Висока прецизност:
- Обезбедува униформен и повторувачки слој со прецизна контрола на дебелината и составот. 2.
2. Скалабилност:
- Погодно за истражување од мал обем и индустриско производство од голем обем. 3.
3. Разноврсност:
- Наталожува широк спектар на материјали, вклучувајќи метали, оксиди, нитриди и композитни соединенија.
4. Ефикасност:
- Вградените системи овозможуваат континуирана обработка, намалувајќи го времето на застој и зголемувајќи го протокот.
Време на објавување: 29 јуни 2024 година