I roto i te waahi o te whakatakotoranga kiriata angiangi, kua noho te hangarau sputtering hei tikanga e whakamahia nuitia ana ki te whakatutuki i nga kiriata kikokore tika me te riterite i roto i nga momo ahumahi. Ko te whaihua me te pono o enei hangarau ka whakawhānui ake i o raatau tono, ka taea e nga miihini me nga kairangahau ki te whakatika i nga kiriata kikokore mo nga kaupapa motuhake. I roto i tenei pou rangitaki, ka titiro hohonu tatou ki nga momo hangarau putere e whakamahia ana i enei ra, e whakamarama ana i o raatau ahuatanga, painga me o raatau tono.
1. DC sputtering
DC sputtering Ko tetahi o te tino taketake, me te whakamahia whānuitia tikanga waipara kiriata angiangi. Ko te tukanga ko te whakamahi i te puna hiko DC ki te whakaputa i te rere mura i roto i te taiao hau pehanga iti. Ko nga katote pai i roto i te plasma ka pupuhi i nga mea i whaaia, ka whakakore i nga ngota me te whakatakoto ki runga i te taputapu. Kei te mohiohia te pupuhi DC mo tona ngawari, te utu-whai hua, me te kaha ki te whakatakoto i nga kiriata angiangi o te kounga teitei ki runga i nga momo taputapu, tae atu ki te karaihe, te karaehe, me nga konganuku.
Nga tono mo te DC sputtering:
- Hangahanga Semiconductor
- Whakakikoruatia whatu
- Kiriata angiangi pūtau solar
2. Te Reo Irirangi me te Reactive Sputtering
Ko te reo irirangi (RF) sputtering he momo awhina hiko RF o DC sputtering. I roto i tenei tikanga, ka pupuhihia te rauemi i whäia ki te katote i hangaia e te mana auau reo irirangi. Ko te waahi o te mara RF ka whakanui ake i te tukanga ionization, ka pai ake te whakahaere i te hanganga o te kiriata. Ko te pupuhi tauhohenga, engari ko te whakauru i te hau reactive, penei i te hauota, te hauora ranei, ki roto i te ruuma pupuhi. Ma tenei ka taea te hanga i nga kiriata angiangi o nga pūhui, penei i te waikura, i te nitrides ranei, me nga taonga whakapaipai ake.
Nga tono mo te RF me te Reactive Sputtering:
- paninga anti-whakaata
- Arai Semiconductor
- Kaiarahi ngaru whatu
3. Te pupuhi a Magnetron
He pai te kowhiringa a Magnetron sputtering mo te whakaheke tere. Ka whakamahia e tenei hangarau he papa autō e tata ana ki te mata o te mata ki te whakapiki ake i te kiato plasma, ka nui ake te pai o te ionization me te pai o te piri kiriata angiangi. Ko te papa autō taapiri e herea ana te plasma tata ki te whainga, ka whakaiti i te kohi whainga ka whakaritea ki nga tikanga sputtering tikanga. Ko te pupuhi a Magnetron e whakarite ana i nga reiti whakaheke me nga taonga whakakikorua pai ake, e pai ana mo te hanga nui.
Nga tono mo te pupuhi magnetron:
- transistor kiriata angiangi
- Pupuri putunga aukume
- Nga paninga whakapaipai i runga i te karaihe me te whakarewa
4. Katote kurupae kurupae
Ko te Ion beam sputtering (IBS) he tikanga tino pai mo te pupuhi i nga rauemi e whaaia ana ma te whakamahi i te kurupae katote. He tino kaha te whakahaere a IBS, ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata me te whakaiti i te mate rawa. Ko tenei hangarau e whakarite ana i te hanganga tika o te stoichiometric me te iti o nga taumata poke. Na te pai o te ahua o te kiriata me te whanuitanga o nga rauemi e whaaia ana, ka taea e IBS te whakaputa i nga kiriata maeneene, kore koha, e pai ana mo nga tono motuhake.
Nga tono mo te Katote Beam Sputtering:
- X-ray whakaata
- whiriwhiringa whatu
- Te whakakakahu me te paninga iti-waku
hei whakatau
He nui, he rereke te ao o te hangarau pupuhi, e tuku ana i nga miihini me nga kairangahau he maha nga huarahi mo te whakatakoto kiriata angiangi. He mea nui te mohio ki nga momo momo tikanga mokowhiti me o raatau tono ki te whakatutuki i nga ahuatanga kiriata kikokore tino pai kia rite ki nga whakaritenga motuhake. Mai i te pupuhi DC ngawari ki te pupuhi i te kurupae katote tika, ka whai waahi nui ia tikanga i roto i nga umanga maha, e whai waahi ana ki te ahu whakamua o te hangarau tapahi.
Ma te mohio ki nga whanaketanga hou o te hangarau sputtering, ka taea e tatou te whakamahi i te mana o nga kiriata kikokore ki te whakatutuki i nga hiahia tipu o te ahumahi hou. Ahakoa i roto i te hikohiko, i te optoelectronics, i nga rauemi matatau ranei, kei te hanga tonu te hangarau sputtering i te ahua o te hoahoa me te hanga i nga hangarau o apopo.
Wā tuku: Akuhata-15-2023