Eo amin'ny sehatry ny fametrahana sarimihetsika manify, ny teknolojia sputtering dia nanjary fomba fampiasa be mba hahazoana sarimihetsika manify mazava sy mitovy amin'ny indostria isan-karazany. Ny fahaiza-manao sy ny fahatokisana an'ireo teknolojia ireo dia manitatra ny fampiharana azy ireo, ahafahan'ny injeniera sy ny mpikaroka manamboatra sarimihetsika manify ho an'ny tanjona manokana. Ato amin'ity lahatsoratra bilaogy ity, dia hijery lalina ireo karazana teknolojia sputtering fampiasa amin'izao fotoana izao isika, manazava ny toetra mampiavaka azy, ny tombony ary ny fampiharana azy.
1. DC sputtering
DC sputtering dia iray amin'ireo teknika fametrahana sarimihetsika manify indrindra sy be mpampiasa indrindra. Ny dingana dia ny fampiasana loharanon-kery DC hamokatra fivoahana mamiratra amin'ny tontolo entona misy tsindry ambany. Ny ion tsara ao amin'ny plasma dia manapoaka baomba ny fitaovana kendrena, manala ny atôma ary mametraka azy ireo eo amin'ny substrate. DC sputtering dia fantatra amin'ny fahatsorany, ny fahombiazany ary ny fahafahany mametraka sarimihetsika manify avo lenta amin'ny substrate isan-karazany, anisan'izany ny fitaratra, ny seramika ary ny metaly.
Fampiharana ny DC sputtering:
- Famokarana semiconductor
- Optic coating
- Sarimihetsika manify ny sela masoandro
2. Radio Frequency sy Reactive Sputtering
Radio Frequency (RF) sputtering dia variana RF manampy amin'ny DC sputtering. Amin'ity fomba ity, ny fitaovana kendrena dia baomba amin'ny ion vokarin'ny herin'ny onjam-peo. Ny fisian'ny saha RF dia manatsara ny fizotran'ny ionization, mamela ny fanaraha-maso mazava kokoa ny firafitry ny sarimihetsika. Ny fitsitsiana mihetsiketsika kosa dia ny fampidirana entona mihetsiketsika, toy ny azota na oksizenina, ao amin'ny efitrano fitsangantsanganana. Izany dia mamela ny fiforonan'ny sarimihetsika manify misy kapoka, toy ny oxides na nitride, miaraka amin'ny fananana akora nohatsaraina.
Fampiharana RF sy Reactive Sputtering:
- Coating anti-reflection
- Sakana semiconductor
- Mpitarika onjam-peo optika
3. Magnetron sputtering
Magnetron sputtering dia safidy malaza amin'ny fametrahana avo lenta. Ity teknôlôjia ity dia mampiasa sahan'andriamby eo akaikin'ny faritra kendrena mba hampitomboana ny hakitroky ny plasma, ka mahatonga ny fahombiazan'ny ionization ambony kokoa sy ny firaiketan'ny sarimihetsika manify. Ny sahan'andriamby fanampiny dia mametra ny plasma akaikin'ny tanjona, mampihena ny fanjifana kendrena raha oharina amin'ny fomba sputtering mahazatra. Ny fametahana Magnetron dia miantoka ny tahan'ny fametrahana avo kokoa sy ny fananana coating ambony, ka mahatonga azy ho tonga lafatra amin'ny famokarana lehibe.
Fampiharana ny magnetron sputtering:
- transistor film manify
- Media fitahirizana magnetika
- Lamba haingon-trano amin'ny fitaratra sy metaly
4. Ion taratra sputtering
Ion beam sputtering (IBS) dia teknika isan-karazany amin'ny fanapotehana ireo fitaovana kendrena amin'ny fampiasana taratra ion. Tena azo fehezina ny IBS, mamela ny fanaraha-maso ny hatevin'ny sarimihetsika marina ary manamaivana ny fatiantoka ara-materialy. Ity teknôlôjia ity dia miantoka ny firafitry ny stoichiometric marina sy ny haavon'ny loto ambany. Miaraka amin'ny fitovian'ny sarimihetsika tena tsara sy ny fifantenana betsaka amin'ny fitaovana kendrena, ny IBS dia afaka mamokatra sarimihetsika malefaka sy tsy misy kilema, ka mety amin'ny fampiharana manokana.
Fampiharana ny Ion Beam Sputtering:
- fitaratra X-ray
- Sivana optique
- Coating anti-wear sy ambany friction
raha fintinina
Ny tontolon'ny teknôlôjia sputtering dia midadasika sy isan-karazany, manome ny injeniera sy ny mpikaroka fahafahana maro amin'ny fametrahana sarimihetsika manify. Ny fahalalana ny karazana teknika sputtering sy ny fampiharana azy dia tena ilaina mba hahazoana ny fananana sarimihetsika manify tsara indrindra araka ny fepetra manokana. Avy amin'ny DC sputtering tsotra ka hatramin'ny sputtering ion beam, ny fomba tsirairay dia manana anjara toerana lehibe amin'ny indostria maro, mandray anjara amin'ny fandrosoan'ny teknolojia avo lenta.
Amin'ny fahatakarana ny fivoarana farany amin'ny teknolojia sputtering, dia afaka mampiasa ny herin'ny sarimihetsika manify isika mba hanomezana fahafaham-po ny fitakian'ny indostria maoderina. Na amin'ny fitaovana elektronika, optoelectronics na fitaovana mandroso, ny teknolojia sputtering dia manohy mamolavola ny fomba famolavolana sy fanamboarana ny teknolojia ho avy.
Fotoana fandefasana: Aug-15-2023