Vakuuma pārklāšanas iekārta ir sava veida plānas plēves uzklāšanas tehnoloģija vakuuma vidē, ko plaši izmanto elektronikā, optikā, materiālzinātnē, enerģētikā un tā tālāk. Vakuuma pārklāšanas iekārta galvenokārt sastāv no šādām daļām:
Vakuuma kamera: šī ir vakuuma pārklāšanas iekārtas galvenā daļa, kurā tiek veikti visi pārklāšanas procesi. Vakuuma kamerai jāspēj izturēt vakuuma vidi un uzturēt labu hermētiskumu.
Vakuumsūknis: To izmanto, lai izsūknētu gaisu vakuuma kamerā, lai radītu vakuuma vidi. Izplatītākie vakuumsūkņi ir mehāniskie sūkņi un molekulārie sūkņi.
Iztvaikošanas avots: Izmanto pārklājuma materiāla sildīšanai un iztvaikošanai. Iztvaikošanas avots var būt pretestības sildīšana, elektronu staru sildīšana, lāzera sildīšana un tā tālāk.
Uzklāšanas rāmis (substrāta turētājs): izmanto pārklājamā substrāta novietošanai. Substrāta turētāju var pagriezt vai pārvietot, lai nodrošinātu pārklājuma vienmērīgumu.
Vadības sistēma: Izmanto, lai kontrolētu visu pārklāšanas procesu, tostarp vakuuma sūkņa iedarbināšanu un apturēšanu, iztvaikošanas avota temperatūras kontroli un nogulsnēšanas ātruma regulēšanu.
Mērīšanas un uzraudzības iekārtas: izmanto, lai reāllaikā uzraudzītu galvenos pārklāšanas procesa parametrus, piemēram, vakuuma pakāpi, temperatūru, nogulsnēšanas ātrumu utt.
Barošanas sistēma: lai nodrošinātu nepieciešamo jaudu vakuuma pārklāšanas iekārtai.
Dzesēšanas sistēma: tiek izmantota vakuuma kameras un citu siltumu radošo komponentu atdzesēšanai, lai nodrošinātu iekārtas normālu darbību.
Šo komponentu efektīvā koordinācija ļauj vakuuma pārklāšanas iekārtai precīzi kontrolēt plēves biezumu, sastāvu un struktūru, lai apmierinātu dažādas rūpnieciskās un zinātniskās vajadzības.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 27. jūlijs