Vakuuminio dengimo įranga yra plonų plėvelių nusodinimo vakuuminėje aplinkoje technologija, plačiai naudojama elektronikoje, optikoje, medžiagų moksle, energetikoje ir kt. Vakuuminio dengimo įrangą daugiausia sudaro šios dalys:
Vakuuminė kamera: tai pagrindinė vakuuminio dengimo įrangos dalis, kurioje atliekami visi dengimo procesai. Vakuuminė kamera turi atlaikyti vakuuminę aplinką ir išlaikyti gerą sandarumą.
Vakuuminis siurblys: Jis naudojamas orui ištraukti iš vakuuminės kameros, kad būtų sukurta vakuuminė aplinka. Įprasti vakuuminiai siurbliai yra mechaniniai siurbliai ir molekuliniai siurbliai.
Garavimo šaltinis: naudojamas dangos medžiagai šildyti ir garinti. Garinimo šaltinis gali būti varžinis kaitinimas, elektronų pluošto kaitinimas, lazerinis kaitinimas ir kt.
Nusodinimo rėmas (pagrindo laikiklis): naudojamas dengiamam pagrindui padėti. Pagrindo laikiklį galima pasukti arba perkelti, kad būtų užtikrintas dangos tolygumas.
Valdymo sistema: naudojama visam dengimo procesui valdyti, įskaitant vakuuminio siurblio paleidimą ir sustabdymą, garinimo šaltinio temperatūros valdymą ir nusodinimo greičio reguliavimą.
Matavimo ir stebėjimo įranga: naudojama pagrindiniams dengimo proceso parametrams, pvz., vakuumo laipsniui, temperatūrai, nusodinimo greičiui ir kt., stebėti realiuoju laiku.
Maitinimo sistema: tiekti reikiamą energiją vakuuminio dengimo įrangai.
Aušinimo sistema: naudojama vakuuminei kamerai ir kitiems šilumą generuojantiems komponentams aušinti, siekiant užtikrinti normalų įrangos veikimą.
Efektyvus šių komponentų koordinavimas leidžia vakuuminio dengimo įrangai tiksliai kontroliuoti plėvelės storį, sudėtį ir struktūrą, kad būtų patenkinti įvairūs pramoniniai ir moksliniai poreikiai.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. liepos 27 d.