Plonasluoksnių plėvelių nusodinimo srityje dulkių purškimo technologija tapo plačiai naudojamu metodu, leidžiančiu gauti tikslias ir vienodas plonas plėveles įvairiose pramonės šakose. Šių technologijų universalumas ir patikimumas išplečia jų pritaikymo galimybes, leisdami inžinieriams ir tyrėjams pritaikyti plonas plėveles konkretiems tikslams. Šiame tinklaraščio įraše išsamiai apžvelgsime skirtingus šiandien dažniausiai naudojamų dulkių purškimo technologijų tipus, paaiškinsime jų unikalias savybes, privalumus ir pritaikymą.
1. Nuolatinės srovės purškimas
Nuolatinės srovės purškimas yra vienas iš pagrindinių ir plačiausiai naudojamų plonų plėvelių nusodinimo būdų. Proceso metu naudojamas nuolatinės srovės maitinimo šaltinis, siekiant sukurti švytėjimo išlydį žemo slėgio dujų aplinkoje. Teigiami jonai plazmoje bombarduoja tikslinę medžiagą, išjudindami atomus ir nusodindami juos ant pagrindo. Nuolatinės srovės purškimas yra žinomas dėl savo paprastumo, ekonomiškumo ir galimybės nusodinti aukštos kokybės plonas plėveles ant įvairių pagrindų, įskaitant stiklą, keramiką ir metalus.
DC purškimo taikymas:
- Puslaidininkių gamyba
- Optinė danga
- Plonasluoksnės saulės baterijos
2. Radijo dažnis ir reaktyvusis dulkinimas
Radijo dažnių (RF) dulkinimas yra RF galios pagalba atliekamas nuolatinės srovės dulkinimo variantas. Taikant šį metodą, tikslinė medžiaga bombarduojama radijo dažnių galios generuojamais jonais. RF lauko buvimas sustiprina jonizacijos procesą, leisdamas tiksliau kontroliuoti plėvelės sudėtį. Kita vertus, reaktyvusis dulkinimas apima reaktyviųjų dujų, tokių kaip azotas arba deguonis, įvedimą į dulkinimo kamerą. Tai leidžia suformuoti plonas junginių, tokių kaip oksidai arba nitridai, plėveles, pasižyminčias pagerintomis medžiagos savybėmis.
RF ir reaktyviojo purškimo taikymas:
- Atspindinti danga
- Puslaidininkių barjeras
- Optiniai bangolaidžiai
3. Magnetroninis purškimas
Magnetroninis dulkinimas yra populiarus pasirinkimas greitam nusodinimui. Ši technologija naudoja magnetinį lauką šalia taikinio paviršiaus, kad padidintų plazmos tankį, todėl padidėja jonizacijos efektyvumas ir puikus plonų sluoksnių sukibimas. Papildomas magnetinis laukas sulaiko plazmą arti taikinio, sumažindamas taikinio sunaudojimą, palyginti su įprastais dulkinimo metodais. Magnetroninis dulkinimas užtikrina didesnį nusodinimo greitį ir geresnes dangos savybes, todėl idealiai tinka didelio masto gamybai.
Magnetroninio purškimo taikymas:
- plonasluoksnis tranzistorius
- Magnetinės laikmenos
- Dekoratyvinės stiklo ir metalo dangos
4. Jonų pluošto dulkinimas
Jonų pluošto dulkinimas (IBS) yra universali taikinių medžiagų dulkinimo technika naudojant jonų pluoštą. IBS yra labai kontroliuojamas, leidžiantis tiksliai kontroliuoti plėvelės storį ir sumažinti medžiagų nuostolius. Ši technologija užtikrina stechiometriškai teisingą sudėtį ir mažą užterštumo lygį. Dėl puikaus plėvelės vienodumo ir plataus taikinių medžiagų pasirinkimo IBS gali pagaminti lygias, be defektų plėveles, todėl tinka specialioms reikmėms.
Jonų pluošto purškimo taikymas:
- Rentgeno veidrodis
- Optiniai filtrai
- Apsauga nuo dilimo ir mažo trinties danga
apibendrinant
Purškimo technologijų pasaulis yra platus ir įvairus, siūlantis inžinieriams ir tyrėjams daugybę plonų sluoksnių nusodinimo galimybių. Norint pasiekti optimalias plonų sluoksnių savybes pagal konkrečius reikalavimus, būtina žinoti apie skirtingus purškimo būdus ir jų taikymą. Nuo paprasto nuolatinės srovės purškimo iki tikslaus jonų pluošto purškimo – kiekvienas metodas atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį daugelyje pramonės šakų, prisidėdamas prie pažangiausių technologijų pažangos.
Suprasdami naujausius dulkinimo technologijos pokyčius, galime panaudoti plonų plėvelių galią, kad patenkintume augančius šiuolaikinės pramonės poreikius. Nesvarbu, ar tai elektronika, optoelektronika, ar pažangios medžiagos, dulkinimo technologija ir toliau formuoja tai, kaip mes projektuojame ir gaminame rytojaus technologijas.
Įrašo laikas: 2023 m. rugpjūčio 15 d.