ອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນປະເພດຂອງເທກໂນໂລຍີການຝາກຮູບເງົາບາງໆໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເອເລັກໂຕຣນິກ, optics, ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ພະລັງງານແລະອື່ນໆ. ອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍພາກສ່ວນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
Vacuum Chamber: ນີ້ແມ່ນສ່ວນຫຼັກຂອງອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງຂະບວນການເຄືອບທັງຫມົດແມ່ນດໍາເນີນ. ຫ້ອງສູນຍາກາດຕ້ອງສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດແລະຮັກສາການຜະນຶກທີ່ດີ.
Vacuum Pump: ໃຊ້ເພື່ອສະກັດອາກາດພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດເພື່ອສ້າງສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ. ປັ໊ມສູນຍາກາດທົ່ວໄປປະກອບມີປັ໊ມກົນຈັກແລະປັ໊ມໂມເລກຸນ.
ແຫຼ່ງການລະເຫີຍ: ໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະລະເຫີຍຂອງວັດສະດຸເຄືອບ. ແຫຼ່ງການລະເຫີຍສາມາດເປັນຄວາມຮ້ອນຕໍ່ຕ້ານ, ຄວາມຮ້ອນ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, ຄວາມຮ້ອນ laser ແລະອື່ນໆ.
Deposition frame (Substrate Holder): ໃຊ້ເພື່ອວາງ substrate ເພື່ອເຄືອບ. ຜູ້ຖື substrate ສາມາດຫມຸນຫຼືຍ້າຍເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການເຄືອບ.
ລະບົບຄວບຄຸມ: ໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຂະບວນການເຄືອບທັງຫມົດ, ລວມທັງການເລີ່ມຕົ້ນແລະຢຸດຂອງປັ໊ມສູນຍາກາດ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງແຫຼ່ງການລະເຫີຍແລະການປັບຕົວຂອງອັດຕາການຕົກຄ້າງ.
ອຸປະກອນວັດແທກແລະຕິດຕາມກວດກາ: ໃຊ້ເພື່ອຕິດຕາມກວດກາຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການເຄືອບໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງ, ເຊັ່ນ: ລະດັບສູນຍາກາດ, ອຸນຫະພູມ, ອັດຕາການຝາກ, ແລະອື່ນໆ.
ລະບົບການສະຫນອງພະລັງງານ: ເພື່ອສະຫນອງພະລັງງານທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດ.
ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນ: ໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມເຢັນຂອງຫ້ອງສູນຍາກາດແລະອົງປະກອບສ້າງຄວາມຮ້ອນອື່ນໆເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກປົກກະຕິຂອງອຸປະກອນ.
ການປະສານງານທີ່ມີປະສິດຕິຜົນຂອງອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດສາມາດຄວບຄຸມຄວາມຫນາ, ອົງປະກອບແລະໂຄງສ້າງຂອງຮູບເງົາໄດ້ຊັດເຈນເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງຄວາມຕ້ອງການອຸດສາຫະກໍາແລະວິທະຍາສາດ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: 27-07-2024