Vakuumbeschichtungsausrüstung ass eng Aart Dënnschichtoflagerungstechnologie an engem Vakuumëmfeld, déi wäit verbreet an der Elektronik, Optik, Materialwëssenschaft, Energie asw. benotzt gëtt. Vakuumbeschichtungsausrüstung besteet haaptsächlech aus de folgende Komponenten:
Vakuumkammer: Dëst ass den zentrale Bestanddeel vun der Vakuumbeschichtungsausrüstung, an där all Beschichtungsprozesser duerchgefouert ginn. D'Vakuumkammer muss der Vakuumëmfeld standhalen a gutt ofdicht sinn.
Vakuumpompel: Si gëtt benotzt fir d'Loft an der Vakuumkammer ze extrahéieren, fir e Vakuumëmfeld ze schafen. Déi üblech Vakuumpompele sinn mechanesch Pompelen a molekulare Pompelen.
Verdampfungsquell: Gëtt benotzt fir d'Beschichtungsmaterial ze erhëtzen an ze verdampfen. D'Verdampfungsquell kann Widderstandsheizung, Elektronestrahlheizung, Laserheizung asw. sinn.
Oflagerungsrahmen (Substrathalter): gëtt benotzt fir de Substrat ze placéieren, deen beschichtet soll ginn. De Substrathalter kann gedréit oder geréckelt ginn, fir d'Uniformitéit vun der Beschichtung ze garantéieren.
Kontrollsystem: Gëtt benotzt fir de ganze Beschichtungsprozess ze kontrolléieren, inklusiv dem Start an dem Stopp vun der Vakuumpompel, der Temperaturkontroll vun der Verdampfungsquell an der Astellung vun der Oflagerungsquote.
Miess- an Iwwerwaachungsausrüstung: Gëtt benotzt fir d'Schlësselparameter am Beschichtungsprozess a Echtzäit ze iwwerwaachen, wéi z. B. Vakuumgrad, Temperatur, Oflagerungsquote, etc.
Stroumversuergungssystem: fir déi néideg Stroumversuergung fir d'Vakuumbeschichtungsausrüstung ze liwweren.
Killsystem: gëtt benotzt fir d'Vakuumkammer an aner Hëtzt generéierend Komponenten ze killen fir den normale Betrib vun der Ausrüstung ze garantéieren.
Déi effektiv Koordinatioun vun dëse Komponenten erméiglecht et der Vakuumbeschichtungsausrüstung, d'Dicke, d'Zesummesetzung an d'Struktur vum Film präzis ze kontrolléieren, fir enger Villfalt vun industriellen a wëssenschaftleche Bedierfnesser gerecht ze ginn.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 27. Juli 2024