Вакуумдук каптоо жабдуулары электроникада, оптикада, материал таанууда, энергетикада ж. Вакуумдук каптоо жабдуулары негизинен төмөнкү бөлүктөрдөн турат:
Вакуумдук камера: Бул вакуумдук каптоо жабдууларынын негизги бөлүгү, анда бардык каптоо процесстери жүргүзүлөт. Вакуумдук камера вакуумдук чөйрөгө туруштук берип, жакшы мөөр басууга жөндөмдүү болушу керек.
Вакуум насосу: Бул вакуумдук чөйрөнү түзүү үчүн вакуумдук камеранын ичиндеги абаны алуу үчүн колдонулат. Кадимки вакуумдук насосторго механикалык насостор жана молекулярдык насостор кирет.
буулануу булагы: каптоо материалды ысытуу жана буулантуу үчүн колдонулат. буулануу булагы каршылык жылытуу, электрон нур жылытуу, лазер жылытуу жана башка болушу мүмкүн.
Депозиттик алкак (субстрат кармоочу): капталуучу субстратты жайгаштыруу үчүн колдонулат. Каптаманын бирдейлигин камсыз кылуу үчүн субстрат кармагычты айландырууга же жылдырууга болот.
Башкаруу системасы: бүт каптоо жараянын көзөмөлдөө үчүн колдонулат, анын ичинде вакуумдук насостун башталышы жана токтотулушу, буулануу булагынын температурасын көзөмөлдөө, жана чөкүү ылдамдыгын жөнгө салуу.
Өлчөө жана көзөмөлдөө жабдуулары: каптоо процессиндеги негизги параметрлерди реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө үчүн колдонулат, мисалы, вакуумдук даража, температура, коюу ылдамдыгы ж.б.
Электр менен жабдуу системасы: вакуумдук каптоо жабдуулары үчүн зарыл болгон энергия менен камсыз кылуу.
Муздатуу системасы: жабдуулардын нормалдуу иштешин камсыз кылуу үчүн вакуумдук камераны жана башка жылуулук түзүүчү компоненттерди муздатуу үчүн колдонулат.
Бул компоненттерди натыйжалуу координациялоо вакуумдук каптоо жабдууларына ар кандай өндүрүштүк жана илимий керектөөлөрдү канааттандыруу үчүн пленканын калыңдыгын, курамын жана структурасын так көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 27-июль 2024-ж