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진공 코팅 장비 구성품

기사 출처:진화진공
읽기:10
게시일: 2027-07-24

진공 코팅 장비는 진공 환경에서 박막을 증착하는 기술로, 전자, 광학, 재료 과학, 에너지 등 다양한 분야에 널리 사용됩니다. 진공 코팅 장비는 주로 다음과 같은 부품으로 구성됩니다.

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진공 챔버: 진공 코팅 장비의 핵심 부분으로, 모든 코팅 공정이 이곳에서 진행됩니다. 진공 챔버는 진공 환경을 견뎌내고 양호한 밀봉 상태를 유지해야 합니다.

진공 펌프: 진공 챔버 내부의 공기를 추출하여 진공 환경을 조성하는 데 사용됩니다. 일반적인 진공 펌프에는 기계식 펌프와 분자식 펌프가 있습니다.

증발원: 코팅 재료를 가열하고 증발시키는 데 사용됩니다. 증발원으로는 저항 가열, 전자빔 가열, 레이저 가열 등이 있습니다.

증착 프레임(기판 홀더): 코팅할 기판을 고정하는 데 사용됩니다. 기판 홀더는 회전하거나 이동하여 코팅의 균일성을 유지할 수 있습니다.

제어 시스템: 진공 펌프의 시작과 정지, 증발원의 온도 제어, 증착 속도 조정을 포함하여 전체 코팅 프로세스를 제어하는 ​​데 사용됩니다.

측정 및 모니터링 장비: 진공도, 온도, 증착 속도 등 코팅 공정의 주요 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 데 사용됩니다.

전원 공급 시스템: 진공 코팅 장비에 필요한 전력을 제공합니다.

냉각 시스템: 진공 챔버와 기타 열을 발생시키는 부품을 냉각하여 장비의 정상적인 작동을 보장하는 데 사용됩니다.

이러한 구성 요소의 효과적인 조정을 통해 진공 코팅 장비는 필름의 두께, 구성 및 구조를 정밀하게 제어하여 다양한 산업 및 과학적 요구를 충족할 수 있습니다.

–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화


게시 시간: 2024년 7월 27일