ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಸಲಕರಣೆ ಘಟಕಗಳು

ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣವು ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಒಂದು ರೀತಿಯ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದ್ದು, ಇದನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನ, ವಸ್ತು ವಿಜ್ಞಾನ, ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಮುಂತಾದವುಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಭಾಗಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ:

ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿ: ಇದು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣದ ಪ್ರಮುಖ ಭಾಗವಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಎಲ್ಲಾ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯು ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸೀಲಿಂಗ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್: ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗಿನ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಲು ಇದನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಸೇರಿವೆ.

ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲ: ಲೇಪನ ವಸ್ತುವನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಆವಿಯಾಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲವು ಪ್ರತಿರೋಧ ತಾಪನ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಕಿರಣ ತಾಪನ, ಲೇಸರ್ ತಾಪನ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಾಗಿರಬಹುದು.

ಠೇವಣಿ ಚೌಕಟ್ಟು (ತಲಾಧಾರ ಹೋಲ್ಡರ್): ಲೇಪನ ಮಾಡಬೇಕಾದ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಇರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಲೇಪನದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ತಲಾಧಾರ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅನ್ನು ತಿರುಗಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಸರಿಸಬಹುದು.

ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ನ ಪ್ರಾರಂಭ ಮತ್ತು ನಿಲುಗಡೆ, ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆಯ ಮೂಲದ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ದರದ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅಳತೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು: ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ, ತಾಪಮಾನ, ಶೇಖರಣಾ ದರ, ಇತ್ಯಾದಿ.

ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಒದಗಿಸಲು.

ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಉಪಕರಣಗಳ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿ ಮತ್ತು ಇತರ ಶಾಖ ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಈ ಘಟಕಗಳ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಮನ್ವಯವು ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣವು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಮತ್ತು ವೈಜ್ಞಾನಿಕ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ದಪ್ಪ, ಸಂಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ರಚನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ