បរិក្ខារស្រោបដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី គឺជាប្រភេទបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយនៅក្នុងបរិយាកាសទំនេរ ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងអេឡិចត្រូនិច អុបទិក វិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ ថាមពល និងអ្វីៗផ្សេងទៀត។ ឧបករណ៍ស្រោបដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី ភាគច្រើនមានផ្នែកដូចខាងក្រោមៈ
Vacuum Chamber: នេះគឺជាផ្នែកស្នូលនៃបរិក្ខារបូមធូលី ដែលដំណើរការថ្នាំកូតទាំងអស់ត្រូវបានអនុវត្ត។ បន្ទប់បូមធូលីត្រូវតែអាចទប់ទល់នឹងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ និងរក្សាការផ្សាភ្ជាប់បានល្អ។
Vacuum Pump: វាត្រូវបានគេប្រើដើម្បីទាញយកខ្យល់នៅខាងក្នុងបន្ទប់បូមធូលីដើម្បីបង្កើតបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ។ ម៉ាស៊ីនបូមធូលីទូទៅរួមមានម៉ាស៊ីនបូមមេកានិច និងម៉ាស៊ីនបូមម៉ូលេគុល។
ប្រភពហួត៖ ប្រើសម្រាប់កំដៅ និងហួតសម្ភារៈថ្នាំកូត។ ប្រភពហួតអាចជាកំដៅធន់ទ្រាំ កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុង កំដៅឡាស៊ែរជាដើម។
Deposition frame (Substrate Holder): ប្រើសម្រាប់ដាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រូវស្រោប។ អ្នកកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចត្រូវបានបង្វិលឬផ្លាស់ទីដើម្បីធានាឱ្យមានឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូត។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ៖ ប្រើដើម្បីគ្រប់គ្រងដំណើរការនៃថ្នាំកូតទាំងមូល រួមទាំងការចាប់ផ្តើម និងបញ្ឈប់នៃស្នប់បូមធូលី ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពនៃប្រភពហួត និងការកែតម្រូវអត្រានៃការដាក់ប្រាក់។
ឧបករណ៍វាស់ស្ទង់ និងត្រួតពិនិត្យ៖ ប្រើដើម្បីត្រួតពិនិត្យប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗក្នុងដំណើរការស្រោបក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង ដូចជាកម្រិតខ្វះចន្លោះ សីតុណ្ហភាព អត្រានៃការដាក់ប្រាក់ជាដើម។
ប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ថាមពល៖ ដើម្បីផ្តល់ថាមពលដែលត្រូវការសម្រាប់ឧបករណ៍ស្រោបសុញ្ញកាស។
ប្រព័ន្ធត្រជាក់៖ ប្រើដើម្បីធ្វើឱ្យបន្ទប់បូមធូលី និងធាតុផ្សំបង្កើតកំដៅផ្សេងទៀត ដើម្បីធានាបាននូវប្រតិបត្តិការធម្មតារបស់ឧបករណ៍។
ការសម្របសម្រួលប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃសមាសធាតុទាំងនេះអាចឱ្យឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីអាចគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវកម្រាស់ សមាសភាព និងរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្ត ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការឧស្សាហកម្ម និងវិទ្យាសាស្ត្រជាច្រើន។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៧ ខែកក្កដា ឆ្នាំ២០២៤