Вакуумдық жабын жабдықтары электроникада, оптикада, материалтануда, энергетикада және т. Вакуумдық жабын жабдықтары негізінен келесі бөліктерден тұрады:
Вакуумдық камера: Бұл вакуумдық жабын жабдығының негізгі бөлігі, онда барлық жабын процестері орындалады. Вакуумдық камера вакуумдық ортаға төтеп бере алуы және жақсы тығыздағышты сақтауы керек.
Вакуумдық сорғы: Ол вакуумдық ортаны жасау үшін вакуумдық камераның ішіндегі ауаны шығару үшін қолданылады. Жалпы вакуумдық сорғыларға механикалық және молекулалық сорғылар жатады.
Булану көзі: жабын материалын қыздыру және булану үшін қолданылады. Булану көзі қарсылық қыздыру, электронды сәулелік қыздыру, лазерлік қыздыру және т.б.
Тұндырғыш жақтау (Substrate Holder): қапталатын субстратты орналастыру үшін қолданылады. Қаптаманың біркелкі болуын қамтамасыз ету үшін субстрат ұстағышын айналдыруға немесе жылжытуға болады.
Басқару жүйесі: вакуумдық сорғыны іске қосу мен тоқтатуды, булану көзінің температурасын бақылауды және тұндыру жылдамдығын реттеуді қоса алғанда, бүкіл жабу процесін басқару үшін қолданылады.
Өлшеу және бақылау жабдығы: вакуум дәрежесі, температура, тұндыру жылдамдығы және т.б. сияқты жабын процесінде нақты уақыт режимінде негізгі параметрлерді бақылау үшін қолданылады.
Электрмен жабдықтау жүйесі: вакуумдық жабын жабдықтарын қажетті қуатпен қамтамасыз ету.
Салқындату жүйесі: жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз ету үшін вакуумдық камераны және басқа жылу шығаратын компоненттерді салқындату үшін қолданылады.
Бұл компоненттерді тиімді үйлестіру вакуумды жабу жабдығына әртүрлі өндірістік және ғылыми қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін пленканың қалыңдығын, құрамын және құрылымын дәл бақылауға мүмкіндік береді.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 27 шілде 2024 ж