Вакуумдық компоненттер, мысалы, клапандар, тұзақтар, шаң жинағыштар және вакуумдық сорғылар бір-біріне қосылған кезде, олар сорғы құбырын қысқа етуге тырысуы керек, құбыр ағынының бағыттауышы үлкен болуы керек және құбырдың диаметрі әдетте сорғы портының диаметрінен кіші болмауы керек, бұл жүйені жобалаудың маңызды қағидасы болып табылады. Бірақ сонымен бірге орнату мен техникалық қызмет көрсетуді ыңғайлы түрде қарастырған жөн. Кейде дірілді болдырмау және шуды азайту үшін механикалық сорғыны вакуум камерасының жанындағы сорғы бөлмесіне орнатуға рұқсат етіледі.
2, механикалық сорғылар (Roots сорғыларын қоса алғанда) дірілге ие, бүкіл жүйенің дірілдеуін болдырмау үшін, әдетте шлангпен дірілді азайтады. Шланг екі түрлі болады: металл және металл емес, шланг түріне қарамастан, атмосфералық қысымның төмендемегеніне көз жеткізуіміз керек.
3, Вакуумдық жүйе жасалғаннан кейін, оны өлшеу және ағып кетуді анықтау оңай болуы керек. Өндірістік тәжірибе бізге вакуумдық жүйенің ағып кетуі жиі оңай екенін және жұмыс процесінде өндіріске әсер ететінін көрсетеді. Ағып кету тесігін тез табу үшін секциялық ағып кету сынағын жүргізу қажет, сондықтан әрбір аралықта өлшеу және ағып кетуді тексеру үшін клапанмен жабылған кем дегенде бір өлшеу нүктесі болуы керек.
4, Вакуум жүйесінде конфигурацияланған клапандар мен құбырлар жүйенің айдау уақытын қысқа, пайдалануға оңай, қауіпсіз және сенімді етуі керек. Жалпы алғанда, негізгі сорғы ретінде бу ағыны сорғысы (диффузиялық сорғы немесе май күшейткіш сорғы) және механикалық сорғы алдын ала сатылы сорғы ретінде, сонымен қатар вакуум алдындағы құбыр (механикалық сорғымен тізбектелген бу ағыны сорғысының құбырлары) бар жүйеде алдын ала сатылы құбыр (вакуум камерасынан механикалық сорғыға дейінгі құбыр) болуы керек. Келесіде, вакуум камерасы мен негізгі сорғы арасында жоғары вакуумдық клапан (негізгі клапан деп те аталады) және алдын ала сатылы құбырда алдын ала сатылы құбыр клапаны (төмен вакуумдық клапан деп те аталады) бар; алдын ала вакуумдық құбырда алдын ала вакуумдық құбыр клапаны (төмен вакуумдық клапан деп те аталады) бар. Негізгі сорғыдағы жоғары вакуумдық клапанды әдетте вакуум күйінде клапан қақпағының астында және атмосфералық қысым күйінде клапан қақпағында ашуға болмайды, бұл қауіпсіздік үшін электрлік блоктау арқылы қамтамасыз етілуі керек. Алдын ала сатылы құбыр клапаны мен вакуум алдындағы құбыр клапанын клапанның өзін атмосфералық қысым астында ашуға болатынын ескеру қажет. Бу ағыны сорғысы негізгі сорғы ретінде қолданылатын вакуумдық жүйе үшін негізгі клапан негізгі сорғыға, алдын ала сатылы құбыр клапаны да негізгі сорғыға, ал алдын ала вакуумдық құбыр клапаны вакуумдық камераға жабылуы керек. Механикалық сорғының кіріс құбырында дефляция клапаны болуы керек. Механикалық сорғы жұмысын тоқтатқан кезде, механикалық сорғының атмосфераға кіруіне және механикалық сорғы майының құбырға кері ағып кетуіне жол бермеу үшін бұл клапанды дереу ашуға болады, сондықтан клапан механикалық сорғымен электрлік түрде біріктірілуі керек. Вакуумдық камерада материалды тиеу және алу үшін дефляция клапаны да орнатылуы керек. Клапанның орналасуы дефляция кезіндегі газдың үлкен импульсін ескеруі керек, бұл вакуумдық камерадағы әлсіз компоненттердің шамадан тыс импульспен зақымдалуына жол бермейді. Дефляция клапанының өлшемі вакуумдық камераның көлеміне байланысты және дефляция уақыты тым ұзақ болмауы керек және жұмысқа әсер етпеуі керек екенін ескеру қажет.
5, Вакуумдық жүйенің дизайны тұрақты және сенімді шығаруды, оңай орнатуды, бөлшектеу мен күтіп ұстауды, ыңғайлы пайдалануды және компоненттер арасындағы байланыстың ауыстырымдылығын қамтамасыз етуі керек. Тұрақты шығару газына қол жеткізу үшін негізгі сорғы тұрақты болуы керек, клапандар икемді және сенімді болуы керек, жүйедегі әрбір компоненттің қосқыштары ағып кетпеуі керек, вакуумдық камера жақсы тығыздау өнімділігіне ие болуы керек және ауыстырымдылықты қамтамасыз ету үшін вакуумдық компоненттердің қосылымдары стандартты өлшемде болуы керек. Негізінде, вакуумдық жүйені жобалауда әрбір жабық құбыр өлшемінің реттелетін өлшемі болуы керек. Бұрын бұл реттелетін өлшем шлангты пайдалану арқылы шешілетін, бірақ қазіргі кезде жүйелердің көпшілігі шлангсыз жасалған. Оның орнына, орнату қателіктері вакуумдық компонентті өңдеу өлшемінің дәлдігін жақсарту және байланыстырушы фланецтегі тығыздағыш резеңке сақинаны пайдалану арқылы шешіледі, бұл жүйенің беріктігі мен қаттылығын жақсартады, жүйеде қолданылатын кронштейнді азайтады және оны әдемі етеді.
6, Автоматты басқаруға және блоктаудан қорғауға қол жеткізу үшін вакуумдық жүйені жобалауда жаңа технологияларды қолдану қажет. Вакуумдық технологияның дамуымен бүкіл сорғы процесінде автоматты түрде жұмыс істей алу қажет, мысалы, Roots сорғысының 1333Pa қысымда жұмыс істей бастауын басқару үшін вакуумдық реле. Су қысымы релесі бу ағыны сорғысының су қысымын белгілі бір қысымда басқару үшін қолданылады, ал су қысымы жеткіліксіз болғанда немесе өшірілгенде, ол дереу қуатты өшіріп, дабыл бере алады. Сорғының жанып кетуіне жол бермейді. Күрделі вакуумдық жүйе мен процесс үшін жабдықтың қатаң талаптарының параметрлерін микрокомпьютерлік бағдарлама басқарады, бұл қауіпсіз және сенімдірек болуы керек.
7, Вакуумдық жүйені жобалау энергияны үнемдеу, шығындарды азайту, пайдалану оңай және сенімді болу үшін қажет. Мұны істеу үлкен экономикалық маңызға ие, бұл жобаланған вакуумдық жабдықтың кең нарықта сатылымға шығуына мүмкіндік береді.
Магнетронды жабын жабдықтары орташа жиілікті магнетронды шашырату және көп доғалы иондық комбинация технологиясын қолданады, ол пластик, шыны, керамика, аппараттық құралдар және көзілдірік, сағат, ұялы телефон аксессуарлары, электронды өнімдер, хрусталь шыны және т.б. сияқты басқа да өнімдерге жарамды. Пленка қабатының адгезиясы, қайталануы, тығыздығы және біркелкілігі жақсы, сонымен қатар үлкен өнімділік және жоғары өнімділік сипаттамаларына ие.
Негізінен металл кілттері, карта ұстағыштары, ортасы алтынмен қапталған, қызғылт алтынмен, қара, қара және көк түсті металл түсті ұялы телефондарда қолданылады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 24 қаңтар