Thaum cov khoom siv nqus tsev, xws li cov li qub, cov ntxiab, cov khoom sau plua plav thiab cov twj tso kua mis nqus tsev, txuas nrog ib leeg, lawv yuav tsum sim ua kom cov kav dej twj tso kua mis luv, cov lus qhia ntws ntawm cov kav dej loj, thiab txoj kab uas hla ntawm cov kav dej feem ntau tsis me dua txoj kab uas hla ntawm qhov chaw twj tso kua mis, uas yog lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb ntawm kev tsim qauv. Tab sis tib lub sijhawm xav txog kev teeb tsa thiab kev saib xyuas kom yooj yim. Qee zaum, txhawm rau tiv thaiv kev co thiab txo qhov suab nrov, lub twj tso kua mis raug tso cai rau teeb tsa hauv chav twj tso kua mis ze ntawm chav nqus tsev.
2, cov twj siv tshuab (xws li cov twj hauv paus) muaj kev co, kom tiv thaiv kev co ntawm tag nrho lub cev, feem ntau txo kev co nrog lub hose. Lub hose muaj ob hom, hlau thiab tsis yog hlau, tsis hais hom hose, peb yuav tsum xyuas kom meej tias lub siab ntawm huab cua tsis raug deflated.
3, Tom qab lub tshuab nqus tsev ua tiav lawm, nws yuav tsum yooj yim rau kev ntsuas thiab nrhiav qhov xau. Kev xyaum tsim khoom qhia peb tias lub tshuab nqus tsev feem ntau yooj yim rau xau thiab cuam tshuam rau kev tsim khoom hauv cov txheej txheem ua haujlwm. Yuav kom nrhiav tau qhov xau sai, nws yog qhov tsim nyog los ua qhov kev sim xau seem, yog li yuav tsum muaj tsawg kawg ib qho ntsuas hauv txhua lub sijhawm kaw los ntawm lub valve rau kev ntsuas thiab kuaj xau.
4, Cov li qub thiab cov kav dej uas tau teeb tsa hauv lub tshuab nqus tsev yuav tsum ua kom lub sijhawm twj tso kua mis luv luv, yooj yim siv, muaj kev nyab xeeb thiab txhim khu kev qha. Feem ntau, ntawm lub tshuab nrog lub twj tso kua mis vapor ua lub twj tso kua mis tseem ceeb (twj tso kua mis diffusion lossis twj tso kua mis roj), thiab lub twj tso kua mis ua lub twj tso kua mis ua ntej, ntxiv rau lub raj xa dej ua ntej nqus tsev (cov kav dej ntawm lub twj tso kua mis ntws hauv series nrog lub twj tso kua mis kho tshuab) yuav tsum muaj lub raj xa dej ua ntej theem (cov kav dej ntawm lub tshuab nqus tsev mus rau lub twj tso kua mis kho tshuab). Tom ntej no, muaj lub valve nqus tsev siab (tseem hu ua lub valve tseem ceeb) ntawm lub tshuab nqus tsev thiab lub twj tso kua mis tseem ceeb, thiab lub valve ua ntej theem (tseem hu ua lub valve nqus tsev qis) ntawm lub raj xa dej ua ntej theem; muaj lub valve nqus tsev ua ntej nqus tsev (hu ua lub valve nqus tsev qis) ntawm lub raj xa dej ua ntej nqus tsev. Lub valve nqus tsev siab ntawm lub twj tso kua mis tseem ceeb feem ntau tsis tuaj yeem qhib hauv qab lub hau valve thaum lub xeev nqus tsev thiab ntawm lub hau valve thaum lub xeev siab atmospheric, uas yuav tsum tau ua kom ntseeg tau los ntawm kev sib txuas hluav taws xob rau kev nyab xeeb. Lub valve ua ntej theem thiab lub valve nqus tsev ua ntej nqus tsev yuav tsum xav txog tias lub valve nws tus kheej tuaj yeem qhib hauv qab lub siab atmospheric. Rau lub tshuab nqus tsev uas muaj lub twj tso kua dej ua lub twj tso kua tseem ceeb, lub qhov cua tseem ceeb yuav tsum tau npog rau lub twj tso kua tseem ceeb, lub qhov cua kav dej ua ntej yuav tsum tau npog rau lub twj tso kua tseem ceeb thiab lub qhov cua kav dej ua ntej yuav tsum tau npog rau lub chamber nqus tsev. Ntawm cov yeeb nkab nkag ntawm lub twj tso kua, yuav tsum muaj lub qhov cua deflation. Thaum lub twj tso kua tsis ua haujlwm, lub qhov cua no tuaj yeem qhib tam sim ntawd kom lub twj tso kua nkag mus rau hauv huab cua thiab tiv thaiv cov roj twj tso kua tsis txhob ntws rov qab mus rau hauv cov kav dej, yog li lub qhov cua yuav tsum tau sib txuas nrog lub twj tso kua. Lub chamber nqus tsev kuj yuav tsum tau teeb tsa lub qhov cua deflation, rau kev thauj khoom thiab nqa cov khoom. Qhov chaw ntawm lub qhov cua yuav tsum xav txog qhov loj ntawm lub zog ntawm cov roj thaum deflating, kom tiv thaiv cov khoom tsis muaj zog hauv lub chamber nqus tsev kom tsis txhob raug puas tsuaj los ntawm lub zog ntau dhau. Qhov loj ntawm lub qhov cua deflation muaj feem cuam tshuam rau qhov ntim ntawm lub chamber nqus tsev, thiab nws yuav tsum tau xav txog tias lub sijhawm deflation yuav tsum tsis txhob ntev dhau thiab cuam tshuam rau kev ua haujlwm.
5, Kev tsim lub tshuab nqus tsev yuav tsum ua kom cov pa tawm ruaj khov thiab txhim khu kev qha, yooj yim rau kev teeb tsa, kev rhuav tshem thiab kev saib xyuas, kev ua haujlwm yooj yim, thiab kev sib pauv ntawm kev sib txuas ntawm cov khoom. Yuav kom ua tiav cov pa tawm ruaj khov, lub twj tso kua mis tseem ceeb yuav tsum ruaj khov, cov li qub yuav tsum yoog tau thiab txhim khu kev qha, cov khoom sib txuas ntawm txhua yam khoom hauv lub kaw lus yuav tsum tsis txhob xau, lub tshuab nqus tsev yuav tsum muaj kev ua haujlwm zoo sealing, thiab kev sib txuas ntawm cov khoom nqus tsev yuav tsum yog qhov loj me kom ntseeg tau tias muaj kev sib pauv. Hauv paus ntsiab lus, hauv kev tsim lub tshuab nqus tsev, txhua qhov loj me ntawm cov yeeb nkab kaw yuav tsum muaj qhov loj me hloov tau. Yav dhau los, qhov loj me hloov tau no tau daws los ntawm kev siv hose, tab sis niaj hnub no, feem ntau ntawm cov kab ke tau tsim tsis muaj hoses. Hloov chaw, qhov yuam kev teeb tsa tau daws los ntawm kev txhim kho qhov tseeb ntawm qhov loj me ntawm cov khoom nqus tsev thiab siv lub nplhaib roj hmab sealing ntawm lub flange txuas, uas tuaj yeem txhim kho lub zog thiab kev nruj ntawm lub kaw lus, txo cov bracket siv rau ntawm lub kaw lus thiab ua rau nws zoo nkauj dua.
6, Yuav tsum siv cov thev naus laus zis tshiab los tsim lub tshuab nqus tsev kom ua tiav kev tswj hwm tsis siv neeg thiab kev tiv thaiv kev sib txuas. Nrog rau kev txhim kho ntawm cov thev naus laus zis nqus tsev, nws yuav tsum muaj peev xwm ua haujlwm tau yooj yim hauv tag nrho cov txheej txheem twj tso kua mis, xws li siv lub tshuab nqus tsev relay los tswj lub twj tso kua mis Roots kom pib ua haujlwm ntawm 1333Pa siab. Lub tshuab ntsuas dej siv los tswj lub siab ntawm lub twj tso kua mis vapor ntawm qee qhov siab, thiab thaum lub siab dej tsis txaus lossis txiav tawm, nws tuaj yeem txiav tawm lub zog tam sim ntawd thiab tshaj tawm lub tswb ceeb toom. Tiv thaiv lub twj tso kua mis kom tsis txhob hlawv tawm. Rau lub tshuab nqus tsev thiab cov txheej txheem nyuaj, cov kev cai ntawm cov kev cai nruj ntawm cov khoom siv yuav tsum tau tswj hwm los ntawm microcomputer program, muaj kev nyab xeeb dua thiab txhim khu kev qha.
7, Kev tsim lub tshuab nqus tsev yog qhov yuav tsum tau txuag hluav taws xob, txo nqi, yooj yim siv thiab txhim khu kev qha. Ua qhov no muaj txiaj ntsig zoo rau kev lag luam, uas tuaj yeem ua rau cov khoom siv nqus tsev tsim muaj kev muag khoom dav dav.
Cov khoom siv txheej Magnetron siv cov thev naus laus zis nruab nrab magnetron sputtering thiab ntau-arc ion ua ke, uas tsim nyog rau yas, iav, ceramic, kho vajtse thiab lwm yam khoom, xws li tsom iav, moos, xov tooj ntawm tes accessories, khoom siv hluav taws xob, iav siv lead ua, thiab lwm yam. Qhov adhesion, repeatability, ceev thiab uniformity ntawm zaj duab xis txheej yog qhov zoo, thiab nws muaj cov yam ntxwv ntawm cov zis loj thiab cov khoom lag luam siab.
Feem ntau siv rau hauv xov tooj ntawm tes nrog cov yuam sij hlau, cov neeg tuav daim npav, lub thav duab nruab nrab coated kub, kub sawv, dub, gunmetal dub thiab xiav.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ib Hlis-24-2025