ვაკუუმური საფარის მოწყობილობა არის თხელი ფენის დაფენის ტექნოლოგიის სახეობა ვაკუუმურ გარემოში, რომელიც ფართოდ გამოიყენება ელექტრონიკაში, ოპტიკაში, მასალათმცოდნეობაში, ენერგეტიკაში და ა.შ. ვაკუუმური საფარის მოწყობილობა ძირითადად შედგება შემდეგი ნაწილებისგან:
ვაკუუმური კამერა: ეს ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობის ძირითადი ნაწილია, რომელშიც ხორციელდება საფარის ყველა პროცესი. ვაკუუმურ კამერას უნდა შეეძლოს ვაკუუმური გარემოსადმი გამძლეობა და კარგი ჰერმეტულობის შენარჩუნება.
ვაკუუმური ტუმბო: იგი გამოიყენება ვაკუუმური კამერიდან ჰაერის გამოსადევნად ვაკუუმური გარემოს შესაქმნელად. გავრცელებული ვაკუუმური ტუმბოებია მექანიკური და მოლეკულური ტუმბოები.
აორთქლების წყარო: გამოიყენება საფარის მასალის გასათბობად და აორთქლებისთვის. აორთქლების წყარო შეიძლება იყოს წინააღმდეგობის გათბობა, ელექტრონული სხივის გათბობა, ლაზერული გათბობა და ა.შ.
დასაფენი ჩარჩო (სუბსტრატის დამჭერი): გამოიყენება დასაფენი სუბსტრატის განსათავსებლად. საფარის ერთგვაროვნების უზრუნველსაყოფად, სუბსტრატის დამჭერის ბრუნვა ან გადაადგილება შესაძლებელია.
მართვის სისტემა: გამოიყენება საფარის მთელი პროცესის სამართავად, მათ შორის ვაკუუმური ტუმბოს ჩართვისა და გამორთვის, აორთქლების წყაროს ტემპერატურის კონტროლისა და დეპონირების სიჩქარის რეგულირების ჩათვლით.
საზომი და მონიტორინგის მოწყობილობა: გამოიყენება საფარის პროცესში ძირითადი პარამეტრების რეალურ დროში მონიტორინგისთვის, როგორიცაა ვაკუუმის ხარისხი, ტემპერატურა, დალექვის სიჩქარე და ა.შ.
ელექტრომომარაგების სისტემა: ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობისთვის საჭირო სიმძლავრის უზრუნველსაყოფად.
გაგრილების სისტემა: გამოიყენება ვაკუუმური კამერის და სხვა სითბოს გამომმუშავებელი კომპონენტების გასაგრილებლად, აღჭურვილობის ნორმალური მუშაობის უზრუნველსაყოფად.
ამ კომპონენტების ეფექტური კოორდინაცია ვაკუუმური საფარის მოწყობილობას საშუალებას აძლევს ზუსტად აკონტროლოს ფირის სისქე, შემადგენლობა და სტრუქტურა, რათა დააკმაყოფილოს სხვადასხვა სამრეწველო და სამეცნიერო საჭიროებები.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 27 ივლისი