Peralatan lapisan vakum minangka teknologi deposisi film tipis ing lingkungan vakum, sing akeh digunakake ing elektronika, optik, ilmu material, energi lan liya-liyane. Peralatan lapisan vakum utamane kasusun saka bagean ing ngisor iki:
Kamar Vakum: Iki minangka bagean inti saka peralatan lapisan vakum, ing ngendi kabeh proses lapisan ditindakake. Kamar vakum kudu bisa tahan lingkungan vakum lan njaga sealing sing apik.
Pompa vakum: Iki digunakake kanggo ngekstrak hawa ing njero ruangan vakum kanggo nggawe lingkungan vakum. Pompa vakum umum kalebu pompa mekanik lan pompa molekul.
Sumber Penguapan: Digunakake kanggo panas lan nguap bahan lapisan. Sumber penguapan bisa dadi pemanasan resistensi, pemanasan sinar elektron, pemanasan laser lan liya-liyane.
Pigura Deposition (Substrate Holder): digunakake kanggo nyelehake landasan sing bakal dilapisi. Wadah substrat bisa diputer utawa dipindhah kanggo njamin keseragaman lapisan.
Sistem Kontrol: Digunakake kanggo ngontrol kabeh proses lapisan, kalebu wiwitan lan mandheg pompa vakum, kontrol suhu sumber penguapan, lan pangaturan tingkat deposisi.
Ngukur lan ngawasi peralatan: Digunakake kanggo ngawasi paramèter tombol ing proses lapisan ing wektu nyata, kayata derajat vakum, suhu, tingkat deposisi, etc.
Sistem sumber daya: kanggo nyedhiyakake daya sing dibutuhake kanggo peralatan lapisan vakum.
Sistem cooling: digunakake kanggo kelangan kamar vakum lan komponen panas liyane kanggo mesthekake operasi normal saka peralatan.
Koordinasi efektif saka komponen kasebut ngidini peralatan lapisan vakum bisa ngontrol kekandelan, komposisi lan struktur film kanthi tepat kanggo nyukupi macem-macem kabutuhan industri lan ilmiah.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Jul-27-2024