真空コーティング装置の環境要件

以来真空コーティング装置真空環境下で動作する装置は、真空環境の要件を満たさなければなりません。我が国で策定された各種真空コーティング装置の業界標準（真空コーティング装置、真空イオンコーティング装置、真空スパッタリングコーティング装置、真空蒸着コーティング装置に関する一般技術条件を含む）には、環境要件が明確に規定されています。真空コーティング装置の環境要件を満たして初めて、装置は正常に動作し、適切なコーティングプロセスによって、高品質のコーティング製品を製造することが可能です。

真空環境の要件には、一般的に、実験室（または作業場）の温度、空気中の微弱な不純物、真空状態または真空中の部品や表面に対する要件など、真空装置の周囲環境に対する要件が含まれます。これら2つの側面は密接に関連しています。周囲環境の質は真空装置の正常な使用に直接影響し、真空装置の真空チャンバーまたはそこに搭載された部品が清掃されているかどうかは装置の性能に直接影響します。空気中に水蒸気や塵が多く含まれ、真空チャンバーが清掃されていない場合、油封式メカニカルポンプを使用して空気を排気しても、所望の真空度を達成することは困難です。周知のとおり、油封式メカニカルポンプは、金属を腐食するガス、真空オイルと化学的に反応するガス、および微粒子状の塵を含むガスの排気には適していません。水蒸気は凝縮性ガスです。ポンプが大量の凝縮性ガスを排気すると、ポンプオイルの汚染がより深刻になります。その結果、ポンプの最終真空度が低下し、ポンプの排気性能が損なわれる。

真空コーティング装置の通常の動作条件は以下のとおりです。

① 周囲温度10～30℃

②相対湿度は70％以下であること。

③ 冷却水入口温度は25℃を超えないこと。

④ 冷却水の水質：水道水または同等の水質。

⑤電源電圧：380V、三相50Hzまたは220V、単相50Hz（使用する電気機器のニーズに応じて）、電圧変動範囲342～399Vまたは198～231V、周波数変動範囲49～51Hz。

⑥圧力、温度、消費量は製品取扱説明書に記載されるべきである。

⑦ 機器の周囲の環境は清潔で、空気も清浄であり、電気機器やその他の金属部品の表面腐食を引き起こしたり、金属間の電気伝導を引き起こしたりする可能性のある粉塵やガスがあってはなりません。

さらに、真空コーティング装置が設置されている実験室または作業場は、清潔で衛生的な状態に保つ必要があります。床はテラゾーまたは塗装された木製床で、埃がない状態にしてください。機械式ポンプから排出されるガスが実験室環境を汚染しないように、ポンプの排気口に排気管（金属製、ゴム製）を取り付けて、ガスを外部に排出してください。