ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ

เนื่องจากอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศเนื่องจากอุปกรณ์ทำงานภายใต้สภาวะสุญญากาศ อุปกรณ์จึงต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมของสุญญากาศ มาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศประเภทต่างๆ ที่กำหนดขึ้นในประเทศของฉัน (รวมถึงข้อกำหนดทางเทคนิคทั่วไปสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบไอออนสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบสปัตเตอร์สุญญากาศ และอุปกรณ์เคลือบระเหยสุญญากาศ) ได้ระบุข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมไว้อย่างชัดเจน อุปกรณ์เคลือบสุญญากาศจะทำงานได้อย่างปกติก็ต่อเมื่อเป็นไปตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม และด้วยกระบวนการเคลือบที่ถูกต้อง จึงจะสามารถผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบที่มีคุณภาพได้

ข้อกำหนดของสภาพแวดล้อมสุญญากาศโดยทั่วไปนั้นรวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์สุญญากาศสำหรับสภาพแวดล้อมโดยรอบ เช่น อุณหภูมิของห้องปฏิบัติการ (หรือโรงงาน) ปริมาณอากาศที่น้อย และข้อกำหนดสำหรับชิ้นส่วนหรือพื้นผิวที่อยู่ในสภาวะสุญญากาศหรืออยู่ในสุญญากาศ สองด้านนี้มีความสัมพันธ์กันอย่างใกล้ชิด คุณภาพของสภาพแวดล้อมโดยรอบส่งผลโดยตรงต่อการใช้งานอุปกรณ์สุญญากาศตามปกติ และความสะอาดของห้องสุญญากาศหรือชิ้นส่วนที่บรรจุอยู่ภายในนั้นส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ หากอากาศมีไอน้ำและฝุ่นละอองจำนวนมาก และห้องสุญญากาศไม่ได้รับการทำความสะอาด การใช้ปั๊มกลไกแบบซีลน้ำมันเพื่อสูบอากาศเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศที่ต้องการนั้นทำได้ยาก อย่างที่เราทราบกันดี ปั๊มกลไกแบบซีลน้ำมันไม่เหมาะสำหรับการสูบก๊าซที่กัดกร่อนโลหะ ทำปฏิกิริยาทางเคมีกับน้ำมันสุญญากาศ และมีฝุ่นละออง ไอน้ำเป็นก๊าซที่ควบแน่นได้ เมื่อปั๊มสูบก๊าซที่ควบแน่นได้ในปริมาณมาก มลพิษของน้ำมันปั๊มก็จะรุนแรงมากขึ้น ผลที่ตามมาคือ แรงดันสุญญากาศสูงสุดของปั๊มจะลดลง และประสิทธิภาพการสูบน้ำของปั๊มจะเสื่อมลง

สภาวะการทำงานปกติของอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศมีดังนี้:

① อุณหภูมิแวดล้อม 10~30℃;

② ความชื้นสัมพัทธ์ต้องไม่เกิน 70%

③ อุณหภูมิน้ำหล่อเย็นขาเข้าต้องไม่สูงกว่า 25°C

④ คุณภาพน้ำหล่อเย็น น้ำประปาของเมืองหรือน้ำที่มีคุณภาพเทียบเท่า

⑤แรงดันไฟฟ้าของแหล่งจ่ายไฟ: 380V สามเฟส 50Hz หรือ 220V เฟสเดียว 50Hz (ขึ้นอยู่กับความต้องการของเครื่องใช้ไฟฟ้าที่ใช้) ช่วงความผันผวนของแรงดันไฟฟ้า 342~399V หรือ 198~231V ช่วงความผันผวนของความถี่ 49~51Hz

⑥ควรระบุแรงดัน อุณหภูมิ และปริมาณการใช้ในคู่มือการใช้งานผลิตภัณฑ์

⑦ สภาพแวดล้อมรอบอุปกรณ์ต้องสะอาด และอากาศต้องบริสุทธิ์ ปราศจากฝุ่นหรือก๊าซที่อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนบนพื้นผิวของเครื่องใช้ไฟฟ้าและชิ้นส่วนโลหะอื่นๆ หรือทำให้เกิดการนำไฟฟ้าข้ามโลหะได้

นอกจากนี้ ห้องปฏิบัติการหรือโรงงานที่ตั้งอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศควรสะอาดและถูกสุขอนามัย พื้นควรเป็นพื้นหินขัดหรือพื้นไม้ทาสี ปราศจากฝุ่น เพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซที่ปล่อยออกมาจากปั๊มกลไกปนเปื้อนสภาพแวดล้อมในห้องปฏิบัติการ สามารถติดตั้งท่อระบายอากาศ (โลหะหรือท่อยาง) ที่ช่องระบายอากาศของปั๊มบนพื้นผิวเพื่อระบายก๊าซออกไปภายนอกได้