Persyaratan lingkungan untuk peralatan pelapisan vakum

Sejakperalatan pelapisan vakumKarena peralatan tersebut beroperasi dalam kondisi vakum, maka peralatan tersebut harus memenuhi persyaratan vakum untuk lingkungan tersebut. Standar industri untuk berbagai jenis peralatan pelapisan vakum yang dirumuskan di negara kita (termasuk kondisi teknis umum untuk peralatan pelapisan vakum, peralatan pelapisan ion vakum, peralatan pelapisan sputtering vakum, dan peralatan pelapisan penguapan vakum) telah secara jelas menetapkan persyaratan lingkungan. Hanya dengan memenuhi persyaratan lingkungan peralatan pelapisan vakum, peralatan tersebut dapat beroperasi secara normal, dan dengan proses pelapisan yang benar, produk pelapisan yang berkualitas dapat dihasilkan.

Persyaratan lingkungan vakum umumnya mencakup persyaratan peralatan vakum untuk lingkungan sekitarnya seperti suhu laboratorium (atau bengkel), kualitas udara yang buruk, dan persyaratan untuk bagian atau permukaan dalam keadaan vakum atau di dalam ruang vakum. Kedua aspek ini saling terkait erat. Kualitas lingkungan sekitar secara langsung memengaruhi penggunaan normal peralatan vakum, dan apakah ruang vakum peralatan vakum atau bagian yang dimuat di dalamnya dibersihkan secara langsung memengaruhi kinerja peralatan. Jika udara mengandung banyak uap air dan debu, dan ruang vakum belum dibersihkan, sulit untuk mencapai tingkat vakum yang diinginkan dengan menggunakan pompa mekanis tertutup oli untuk memompa udara. Seperti yang kita ketahui, pompa mekanis tertutup oli tidak cocok untuk memompa gas yang korosif terhadap logam, reaktif secara kimia terhadap oli vakum, dan mengandung debu partikulat. Uap air adalah gas yang dapat mengembun. Ketika pompa memompa sejumlah besar gas yang dapat mengembun, polusi oli pompa akan lebih serius. Akibatnya, vakum maksimum pompa akan turun dan kinerja pemompaan pompa akan menurun.

Kondisi kerja normal peralatan pelapisan vakum adalah:

① Suhu lingkungan 10~30℃;

② Kelembaban relatif tidak lebih dari 70%;

③ Suhu air pendingin yang masuk tidak lebih tinggi dari 25°C;

④ Kualitas air pendingin: Air keran kota atau air dengan kualitas setara;

⑤Tegangan catu daya: 380V, tiga fasa 50Hz atau 220V, satu fasa 50Hz (tergantung kebutuhan peralatan listrik yang digunakan), rentang fluktuasi tegangan 342~399V atau 198~231V, rentang fluktuasi frekuensi 49~51Hz;

⑥Tekanan, suhu, dan konsumsi harus tercantum dalam buku petunjuk produk;

⑦ Lingkungan di sekitar peralatan harus bersih dan udaranya bersih, serta tidak boleh ada debu atau gas yang dapat menyebabkan korosi permukaan pada peralatan listrik dan bagian logam lainnya atau menyebabkan konduksi listrik antar logam.

Selain itu, laboratorium atau bengkel tempat peralatan pelapisan vakum berada harus dijaga kebersihan dan higienitasnya. Lantainya harus berupa teraso atau lantai kayu yang dicat, dan bebas debu. Untuk mencegah gas yang dikeluarkan dari pompa mekanis mencemari lingkungan laboratorium, dapat digunakan pipa pembuangan (pipa logam atau karet) pada permukaan untuk membuang gas ke luar.