Requisitos ambientales para equipos de recubrimiento al vacío

Desdeequipos de recubrimiento al vacíoAl operar en condiciones de vacío, el equipo debe cumplir con los requisitos ambientales. Las normas industriales para diversos tipos de equipos de recubrimiento al vacío, formuladas en mi país (incluidas las condiciones técnicas generales para equipos de recubrimiento al vacío, recubrimiento iónico al vacío, recubrimiento por pulverización catódica al vacío y recubrimiento por evaporación al vacío), estipulan claramente los requisitos ambientales. Solo cumpliendo con estos requisitos ambientales, el equipo podrá operar con normalidad y, mediante el proceso de recubrimiento adecuado, se podrán obtener productos de recubrimiento de calidad.

Los requisitos del entorno de vacío generalmente incluyen los requisitos del equipo de vacío para el entorno circundante, como la temperatura del laboratorio (o taller), la baja presión atmosférica y los requisitos para las piezas o superficies en estado de vacío o en vacío. Estos dos aspectos están estrechamente relacionados. La calidad del entorno circundante afecta directamente el uso normal del equipo de vacío, y la limpieza de la cámara de vacío o de las piezas cargadas en ella afecta directamente el rendimiento del equipo. Si el aire contiene mucho vapor de agua y polvo, y la cámara de vacío no se ha limpiado, es difícil lograr el grado de vacío deseado utilizando una bomba mecánica sellada con aceite para bombear aire. Como es sabido, las bombas mecánicas selladas con aceite no son adecuadas para bombear gases corrosivos para los metales, químicamente reactivos con el aceite de vacío y que contienen polvo particulado. El vapor de agua es un gas condensable. Cuando la bomba bombea una gran cantidad de gas condensable, la contaminación del aceite de la bomba será más grave. Como consecuencia, el vacío máximo de la bomba disminuirá y su rendimiento de bombeo se verá afectado negativamente.

Las condiciones normales de funcionamiento de los equipos de recubrimiento al vacío son:

① Temperatura ambiente 10~30℃;

② La humedad relativa no es superior al 70%;

③ La temperatura de entrada del agua de refrigeración no es superior a 25 °C;

④ Calidad del agua de refrigeración Agua del grifo de la ciudad o agua de calidad equivalente;

⑤Tensión de alimentación: 380 V, trifásica 50 Hz o 220 V, monofásica 50 Hz (dependiendo de las necesidades de los aparatos eléctricos utilizados), rango de fluctuación de tensión 342~399 V o 198~231 V, rango de fluctuación de frecuencia 49~51 Hz;

⑥La presión, la temperatura y el consumo deben indicarse en el manual de instrucciones del producto;

⑦ El entorno alrededor del equipo está limpio y el aire está limpio, y no debe haber polvo ni gases que puedan causar corrosión superficial de los aparatos eléctricos y otras partes metálicas o causar conducción eléctrica entre metales.

Además, el laboratorio o taller donde se ubica el equipo de recubrimiento al vacío debe mantenerse limpio e higiénico. El suelo debe ser de terrazo o madera pintada, libre de polvo. Para evitar que el gas que emite la bomba mecánica contamine el ambiente del laboratorio, se puede utilizar un conducto de escape en la salida de la bomba. Instale un tubo de escape (metálico o de goma) en la superficie para evacuar el gas al exterior.