부터진공 코팅 장비진공 상태에서 작동하는 장비는 진공 환경 요건을 충족해야 합니다. 우리나라에서 제정된 다양한 종류의 진공 코팅 장비에 대한 산업 표준(진공 코팅 장비, 진공 이온 코팅 장비, 진공 스퍼터링 코팅 장비, 진공 증착 코팅 장비의 일반 기술 조건 포함)에는 환경 요건이 명확하게 규정되어 있습니다. 진공 코팅 장비가 환경 요건을 충족해야만 정상적으로 작동할 수 있으며, 올바른 코팅 공정을 통해 품질이 보장된 코팅 제품을 생산할 수 있습니다.
진공 환경 요구 사항은 일반적으로 실험실(또는 작업장)의 온도, 공기 중 희박한 기포, 진공 상태 또는 진공 상태에서 부품이나 표면에 대한 요구 사항 등 주변 환경에 대한 진공 장비의 요구 사항을 포함합니다. 이 두 가지 측면은 밀접하게 관련되어 있습니다. 주변 환경의 질은 진공 장비의 정상적인 사용에 직접적인 영향을 미치며, 진공 장비의 진공 챔버 또는 그 안에 장착된 부품의 청결도는 장비 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 공기 중에 수증기와 먼지가 많이 포함되어 있고 진공 챔버가 청소되지 않은 경우, 오일 밀봉식 기계식 펌프를 사용하여 공기를 펌핑하는 것만으로는 원하는 진공도를 얻기 어렵습니다. 잘 알려진 바와 같이, 오일 밀봉식 기계식 펌프는 금속을 부식시키거나 진공 오일과 화학적으로 반응하는 가스, 그리고 미립자 먼지를 포함하는 가스를 펌핑하는 데 적합하지 않습니다. 수증기는 응축성 가스입니다. 펌프가 다량의 응축성 가스를 펌핑하면 펌프 오일의 오염이 더욱 심각해집니다. 결과적으로 펌프의 최대 진공도가 떨어지고 펌프의 펌핑 성능이 저하됩니다.
진공 코팅 장비의 정상 작동 조건은 다음과 같습니다.
① 주변 온도 10~30℃;
② 상대 습도는 70% 이하입니다.
③ 냉각수 유입 온도는 25°C를 넘지 않습니다.
④ 냉각수 수질: 시립 수돗물 또는 이와 동등한 수질의 물;
⑤전원 공급 전압: 380V, 3상 50Hz 또는 220V, 단상 50Hz(사용하는 전기 제품의 필요에 따라 다름), 전압 변동 범위 342~399V 또는 198~231V, 주파수 변동 범위 49~51Hz;
⑥제품 사용 설명서에는 압력, 온도 및 소비량이 명시되어야 합니다.
⑦ 장비 주변 환경과 공기는 깨끗해야 하며, 전기 제품 및 기타 금속 부품의 표면 부식을 유발하거나 금속 간 전기 전도성을 유발할 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다.
또한 진공 코팅 장비가 설치된 실험실이나 작업장은 청결하고 위생적으로 유지되어야 합니다. 바닥은 테라조 또는 페인트칠한 나무 바닥이어야 하며 먼지가 없도록 해야 합니다. 기계식 펌프에서 배출되는 가스가 실험실 환경을 오염시키는 것을 방지하기 위해 펌프의 배기구에 배기 파이프(금속 또는 고무 파이프)를 설치하여 가스가 외부로 배출되도록 할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 3월 17일